PECVD納米膜是一種通過PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)技術制備的尺寸或層厚在納米量級的納米薄膜。PECVD是化學氣相沉積(CVD)的一種,即利用微波或射頻等能量使含有薄膜成分元素的氣體分離,產生等離子體,在待鍍物件上沉積形成致密、高性能的薄膜。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年中國PECVD納米膜行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,PECVD納米膜具有良好的防水性能、防腐蝕性能、阻隔性能、環保性能等,且膜層厚度均勻、可組合搭配,可以替代三防漆、派瑞林鍍膜等涂層防護手段,在半導體、光伏、消費電子、可穿戴設備、汽車電子、光學儀器、醫療器械等領域具有廣闊應用前景。
PECVD淀積溫度低,是PECVD納米膜的核心制備技術。PECVD可細分為射頻PECVD(RF-PECVD)、甚高頻PECVD(VHF-PECVD)、介質層阻擋放電PECVD(DBD-PECVD)、微波電子回旋共振PECVD(MWECR-PECVD)。
隨著消費升級,消費者對電子產品的性能、品質、外觀等要求越來越嚴格,在此背景下,PECVD納米膜應用空間將不斷打開,預計2024-2029年,全球PECVD納米膜市場將以8.0%左右的年均復合增長率增長。目前消費電子、汽車電子、光伏是PECVD納米膜主要應用領域,其中消費電子應用占比約40%。
PECVD可以生產高質量納米薄膜,但其工藝復雜、設備維護成本高,目前涂層防護領域采用PECVD工藝的企業較少,PECVD納米膜市場集中度較高。全球PECVD納米膜市場布局企業包括比利時Europlasm、東京電子、應用材料公司(AMAT)、江蘇菲沃泰納米科技股份有限公司(菲沃泰)、微導納米等。
菲沃泰是國內PECVD聚合納米薄膜龍頭企業,其核心業務為PECVD納米鍍膜技術,技術水平國際領先。菲沃泰是華為、小米、vivo、蘋果、亞馬遜等智能終端廠商的重要納米薄膜供應商,目前其已經累計為10億+手機類產品、7億+耳機類產品、20億+PCBA板產品、500萬+電池產品、5000萬+LED產品、20000件+工業品類產品進行納米鍍膜防護。
新思界
行業分析人士表示,PECVD納米膜能夠提高器件的性能和可靠性,如基于PECVD納米膜的太陽能電池板,光電轉換效率更高。隨著消費升級、涂層防護要求提升,PECVD納米膜將加速替代三防漆、派瑞林鍍膜等傳統涂層防護手段,市場發展空間廣闊。PECVD納米膜市場集中度高,我國企業已具備其核心技術,國際市場競爭力將不斷增強。