層流壓差式MFC即層流壓差式質量流量控制器，是一種用于氣體質量流量測量和控制的儀器，即通過層流元件將氣體流動狀態規整為規則的層流，并利用壓差傳感器測量層流元件兩端的壓力差來計算氣體流量。
質量流量控制器（MFC）主要由質量流量計（MFM）和控制閥組成，根據MFM不同，MFC可分為熱式、差壓式、轉子式等七種類別。差壓式MFC是常見的MFC之一，其響應速度、測量精度、重復性要優于熱式MFC（主流MFC），未來市場份額有望提升。差壓式MFC又可分為層流壓差式MFC、節流壓差式MFC，層流壓差式MFC是未來發展趨勢。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2028年中國層流壓差式質量流量控制器（層流壓差式MFC）市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示，相比熱式MFC，層流壓差式MFC具有測量精度高、測量范圍寬、響應速度快、抗污染能力強、重復性高等優勢，可滿足光伏、生物醫藥、半導體、科學研究等領域對氣體流量的精準控制需求。此外層流壓差式MFC也可以應用在環境檢測、真空鍍膜、航空航天等領域。
層流壓差式MFC測量精度高，在半導體領域使用較多。2023年，我國半導體用MFC市場規模達20億元以上。半導體用MFC技術壁壘高，市場由美國MKS、美國Brooks、日本Horiba等企業占據主導。我國企業多布局光伏、面板用MFC，半導體用MFC國產化率較低，在中美貿易戰加劇背景下，其國產替代需求迫切。
近年來，通過加大自主創新力度、積極參與國際合作、政策資金投入等方式，我國MFC企業不斷取得突破，半導體用MFC供應能力逐漸提升。如青島芯笙微納電子科技有限公司（青島芯笙）開發出了基于高速壓電比例閥的半導體級MFC，攻克了國產半導體級MFC發展的關鍵技術壁壘；陜西易度智能科技有限公司（易度智能）擁有層流壓差式MFC技術積累，MFC技術系列產品已得到CPA認證（中華人民共和國計量器具型式批準證書）、歐洲CE認證。
新思界
行業分析人士表示，層流壓差式MFC在測量精度、響應速度等方面具有明顯優勢，是未來MFC發展趨勢，隨著新技術、新傳感器應用，層流壓差式MFC測量精度仍有上升空間。層流壓差式MFC價格較高，在半導體領域應用居多，其國產化發展，對我國半導體技術自主可控、產業升級，及信息安全保障等具有重要意義。
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