陶瓷加熱器，又稱陶瓷加熱元件，指利用陶瓷材料作為熱傳導介質的加熱裝置。陶瓷加熱器具有耐腐蝕、使用壽命長、安全可靠性高、熱轉換效率高、綠色環(huán)保等優(yōu)勢，可用于集成電路等半導體器件制造過程中，為半導體設備重要組件。
按照陶瓷材料不同，陶瓷加熱器可分為氧化鋁陶瓷加熱器、氮化鋁陶瓷加熱器等類型。氮化鋁陶瓷加熱器以氮化鋁作為熱傳導介質，具備極佳導熱性、等離子體抗性以及電絕緣性。近年來，氮化鋁陶瓷加熱器行業(yè)發(fā)展速度不斷加快，已成為陶瓷加熱器市場主流產品。2023年全球氮化鋁陶瓷加熱器市場規(guī)模達到近4000萬美元，同比增長近10%。未來隨著細分產品應用需求增長，陶瓷加熱器行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
根據(jù)新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《
2024-2029年陶瓷加熱器行業(yè)市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，陶瓷加熱器為半導體設備重要組成部分，能夠保證集成電路在加工過程中的溫度均勻性。隨著全球半導體產業(yè)向我國大陸轉移，我國集成電路產量不斷增長。據(jù)國家工信部統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2023年我國集成電路產量達到3514億塊，同比增長6.9%。預計未來一段時間，伴隨半導體產業(yè)快速發(fā)展，我國陶瓷加熱器市場空間將進一步擴展。
全球陶瓷加熱器市場主要集中于歐美以及日韓等國，主要生產商包括韓國MiCo Ceramics公司、日本NTK CERATEC株式會社、日本礙子株式會社（NGK INSULATORS）、日本住友電氣工業(yè)株式會社（Sumitomo）、美國SemiXicon公司、美國CoorsTek公司等。韓國MiCo Ceramics公司專注于半導體設備專用陶瓷零部件的研發(fā)、生產及銷售，其氮化鋁陶瓷加熱器已在CVD、PE-CVD、ALD等半導體薄膜沉積設備中獲得應用。
在本土方面，我國陶瓷加熱器主要生產商包括中瓷電子、商德先進陶瓷、思考電子、珂瑪科技等。珂瑪科技主營產品為先進陶瓷零部件，擁有多項陶瓷加熱器相關發(fā)明專利，其產品可滿足客戶定制化需求。據(jù)珂瑪科技企業(yè)年報顯示，2023年公司先進陶瓷材料零部件業(yè)務實現(xiàn)營收4億元。
新思界
行業(yè)分析人士表示，隨著半導體產業(yè)快速發(fā)展，陶瓷加熱器市場需求日益旺盛。未來伴隨技術進步，氮化鋁陶瓷加熱器作為陶瓷加熱器代表產品，行業(yè)發(fā)展空間將進一步擴展。與海外發(fā)達國家相比，我國陶瓷加熱器行業(yè)起步較晚，但發(fā)展勢頭迅猛，已有多家企業(yè)具備高性能產品自主研發(fā)及生產實力。
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