聚焦離子束電子束雙束顯微鏡又稱聚焦離子束雙束電子顯微鏡，是一種同時具有聚焦離子束（FIB）、掃描電子顯微鏡（SEM）功能的高科技分析儀器。
聚焦離子束電子束雙束顯微鏡是在掃描電子顯微鏡基礎上加裝聚焦離子束系統，并附帶納米機械臂、氣體注入系統、可控樣品臺等附件。在工作時，聚焦離子束對各類材料進行納微米級尺度的加工、修改、成型、成像，電子束進行材料微觀形貌、晶體取向、三維結構、元素含量等的分析測試。
聚焦離子束電子束雙束顯微鏡實現了微區成像、加工、分析及操縱的一體化，在材料科學、生命科學、能源催化、半導體制造、生物醫藥、地質學等領域應用廣泛。在半導體制造中，聚焦離子束電子束雙束顯微鏡可用于集成電路的缺陷診斷、離子注入、掩膜版修理、原位加工、刻蝕等。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年中國聚焦離子束電子束雙束顯微鏡市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示，近年來，隨著科學研究熱情提升、科學儀器更新需求釋放，聚焦離子束電子束雙束顯微鏡采購需求有所提升，浙江大學、西南交通大學、吉林大學等院校均有發布相關采購需求。
作為先進儀器，聚焦離子束電子束雙束顯微鏡技術壁壘較高，在國際市場上，其供應商包括德國卡爾·蔡司（Zeiss）、美國賽默飛世爾科技（ThermoFisher）、法國ORSAY PHYSICS公司、日本電子株式會社等。國外企業起步早、技術先進，在聚焦離子束電子束雙束顯微鏡領域的競爭力較強。
國儀量子技術（合肥）股份有限公司（國儀量子）自主研制的電鏡新品-聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500于2023年發布，該電鏡擁有自主可控的場發射電子鏡筒（保證納米分析能力）、“承影”離子鏡筒（提供離子束流，保證納米加工能力）。目前國儀量子的聚焦離子束電子束雙束顯微鏡DB500已入選《2024年合肥市首臺套重大技術裝備名單》。
新思界
行業分析人士表示，聚焦離子束電子束雙束顯微鏡應用需求廣泛，但長期以來，受核心技術限制，我國聚焦離子束電子束雙束顯微鏡市場由國外企業占據重要份額。近年來，在“十四五”國家重點研發計劃支持下，我國逐漸實現了聚焦離子束電子束雙束顯微鏡國產化生產，憑借服務響應快、性價比高等優勢，國產儀器有望實現更廣泛推廣應用。
