半導體廢氣處理設備，又稱半導體專用工藝廢氣處理設備，指在半導體制造業中用于處理和凈化生產過程中所產生有害氣體的關鍵設備。半導體廢氣處理設備需具備廢氣處理能力強、運行成本低、能耗低等特性，能夠降低酸性氣體、有機化合物以及堿性氣體等有害氣體的排放量。
半導體廢氣處理設備種類極為豐富，主要包括干法洗滌器、濕法洗滌器、焚燒爐、催化氧化裝置、生物過濾器、活性炭吸附器、冷凝器、等離子體凈化器等。不同類型半導體廢氣處理設備，其適用場景也有所不同。濕法洗滌器主要包括電熱水洗、燃燒水洗、等離子水洗三種方式，能夠有效去除廢氣中的液態或固態粒子，具有體積小、結構簡單、凈化效率高等優勢。
近年來，在國家政策推動下，我國半導體制造業逐漸往環保方向發展。2023年12月，國家生態環境部發布《關于印發集成電路制造等四個行業建設項目環境影響評價文件審批原則的通知》，文件明確提到要嚴格防控集成電路制造項目環境風險，提升企業減排意識。未來伴隨國家政策支持，半導體廢氣處理設備作為環保設備，行業發展態勢將持續向好。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年半導體廢氣處理設備行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，半導體廢氣處理設備能夠有效處理半導體制程中產生的各類有害氣體，在應用需求帶動下，其行業發展速度不斷加快。2023年全球半導體廢氣處理設備市場規模達到近15億美元，同比增長近8%。在本土方面，伴隨環保觀念不斷深入，我國半導體廢氣處理設備市場規模持續增長，2023年達到近3億美元。
全球半導體廢氣處理設備主要生產商包括德國戴思環保公司（DAS）、英國愛德華公司（Edwards）。在本土方面，受市場前景吸引，我國半導體廢氣處理設備生產企業數量不斷增長，帶動其市場競爭日益激烈。京儀裝備、盛劍環境、合肥亞笙、協微環境、格林斯達環保、萬業企業、利微成科技等為我國半導體廢氣處理設備主要生產商。
新思界
行業分析人士表示，受益于我國半導體產業發展速度加快，半導體廢氣處理設備應用需求日益旺盛。未來伴隨技術進步以及國家政策支持，我國半導體廢氣處理設備行業發展空間將進一步擴展。在市場競爭方面，我國半導體廢氣處理設備生產企業眾多，未來具備高性能產品生產實力的企業將占據市場更大空間。
