無圖形晶圓缺陷檢測設備，又稱無圖案晶圓缺陷檢測設備，指在晶圓尚未形成電路圖案階段進行缺陷檢測的設備。無圖形晶圓缺陷檢測設備屬于前道半導體檢測設備，能夠檢測晶圓表面粗糙度異常、顆粒污染、凹坑、破裂以及劃傷等缺陷，可有效提升晶圓良品率。
無圖形晶圓缺陷檢測設備通常由光路系統、激光光源、硅片抓取機械手、CCD相機、控制電腦、高精度伺服系統等組件構成。目前，受技術壁壘高、生產成本高等因素限制，我國具備無圖形晶圓缺陷檢測設備組件自主研發及生產實力的企業數量極少，這將為無圖形晶圓缺陷檢測設備行業發展帶來一定挑戰。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年無圖形晶圓缺陷檢測設備行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，受益于全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國已成為晶圓主產國之一。2023年我國晶圓產能同比增長超過10%，位居全球領先。無圖形晶圓缺陷檢測設備能夠有效提升晶圓良品率，未來伴隨應用需求日益旺盛，其行業發展態勢將持續向好。
全球無圖形晶圓缺陷檢測設備市場主要集中于歐美以及日本等國，代表企業包括日本株式會社日立制作所（Hitachi）、美國應用材料公司（AMAT）、美國耐諾公司（Nanometrics Incorporated）、美國科磊公司（KLA）等。科磊為全球半導體檢測設備龍頭企業，市場占比達到近五成，其開發的無圖案晶圓缺陷檢測系統Surfscan SP2采用紫外線激光技術、先進算法以及暗場光學技術制成，具有檢測速度快、檢測精度高等優勢。
在本土方面，我國無圖形晶圓缺陷檢測設備市場參與者較少，需求高度依賴進口。中科飛測專注于半導體量測設備的研發、生產及銷售，為我國較早布局無圖形晶圓缺陷檢測設備行業研發及生產賽道的企業之一，產品主要應用于先進封裝領域，2023年公司生產交付量達到近300臺。據中科飛測企業年報顯示，2023年公司檢測設備實現營收6.5億元，占據其業務總營收的73.5%。
新思界
行業分析人士表示，我國已成為晶圓生產大國，應用需求增長帶動無圖形晶圓缺陷檢測設備市場空間持續擴展。目前，我國無圖形晶圓缺陷檢測設備行業尚處于起步階段，具備其規模化生產能力的企業數量較少。未來伴隨國家政策支持以及技術進步，我國無圖形晶圓缺陷檢測設備產能有望擴張。
