晶圓傳片機(jī)，又稱晶圓搬運(yùn)設(shè)備、晶圓傳輸系統(tǒng)，指在不同半導(dǎo)體制造工藝之間安全、高效地傳輸晶圓的設(shè)備。晶圓傳片機(jī)可用于處理各種尺寸晶圓，具備傳輸精確度高、自動化程度高、工作效率高、清潔度高、適應(yīng)性好等優(yōu)勢。
晶圓傳片機(jī)通常由晶圓抓手、機(jī)械臂、控制系統(tǒng)、預(yù)對準(zhǔn)器、空氣過濾器、晶圓裝載裝置等組件構(gòu)成。晶圓抓手主要用于固定和夾持晶圓，能夠保證運(yùn)輸穩(wěn)定性；晶圓裝載裝置位于晶圓外部，對于晶圓傳輸潔凈度起到重要作用。晶圓傳片機(jī)技術(shù)壁壘較高，我國具備其組件規(guī)模化生產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量極少，這將為行業(yè)發(fā)展帶來一定挑戰(zhàn)。
按照機(jī)構(gòu)及工作方式不同，晶圓傳片機(jī)可分為回轉(zhuǎn)型晶圓傳片機(jī)以及直線型晶圓傳片機(jī)兩種類型。回轉(zhuǎn)型晶圓傳片機(jī)采用雙臂機(jī)械手設(shè)計，在傳輸準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、潔凈度以及速度方面存在優(yōu)勢；直線型晶圓傳片機(jī)屬于傳統(tǒng)晶圓傳片設(shè)備，采用單臂機(jī)械手設(shè)計，在完成傳輸工作的同時，還能對晶圓缺口位置進(jìn)行檢測。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2024-2029年晶圓傳片機(jī)行業(yè)市場深度調(diào)研及投資前景預(yù)測分析報告》顯示，晶圓傳片機(jī)能夠傳輸各種尺寸晶圓，在晶圓下線、傳片、翻片、倒片、出廠等環(huán)節(jié)應(yīng)用廣泛。近年來，伴隨技術(shù)成熟度提升以及應(yīng)用需求增長，大尺寸晶圓市場占比不斷提高。2023年我國晶圓月均產(chǎn)能達(dá)到近660萬片，其中12英寸晶圓占比達(dá)到近六成。未來伴隨人工智能、物聯(lián)網(wǎng)、汽車電子等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度加快，我國大尺寸晶圓市場需求將日益旺盛，這將為晶圓傳片機(jī)行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
我國晶圓傳片機(jī)主要生產(chǎn)商包括北京京儀自動化裝備技術(shù)股份有限公司、東方晶源微電子科技（北京）股份有限公司、深圳中科飛測科技股份有限公司等。京儀裝備專注于半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，為我國晶圓傳片機(jī)代表企業(yè)。據(jù)京儀裝備企業(yè)年報顯示，2023年公司晶圓傳片設(shè)備庫存量達(dá)到71臺。
新思界
行業(yè)分析人士表示，受益于大尺寸晶圓產(chǎn)能擴(kuò)張，我國晶圓傳片應(yīng)用需求日益旺盛，行業(yè)發(fā)展空間不斷擴(kuò)展。但目前，受技術(shù)壁壘高等因素限制，我國國產(chǎn)晶圓傳片機(jī)市場占比較低。未來伴隨本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力以及技術(shù)進(jìn)步，我國晶圓傳片機(jī)行業(yè)景氣度有望提升。
