離子束拋光機是一種表面處理設備，即基于離子濺射原理，在真空狀態下，通過離子源引束產生等離子體能量束流，束流轟擊工件表面產生原子級別的材料去除，從而實現元件的高精度加工。
離子束拋光機通常由控制系統、真空系統、離子源、工作臺、氣體循環系統等部分組成。其中控制系統具有操作和監控設備的作用；真空系統用于提供工作環境，以確保離子束的穩定性；離子源是離子束拋光機的最核心部分，作用是利用電磁場加速離子形成離子束；工作臺用于支撐或控制工件；氣體循環系統主要負責廢氣回收和處理。
離子束拋光機是非接觸式加工設備，相比于傳統拋光設備，具有加工精度高、維護費用低、不產生亞表面損傷、可加工任意形狀曲面等優勢。離子束拋光機適用于特殊、大面積、異型等材料的超高精度修形及拋光，在半導體、生化檢測、航天航空零部件、光學鏡片、精密模具、醫療器械、汽車等超精密制造領域應用日益廣泛。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2028年中國離子束拋光機市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示，離子束拋光機行業存在一定的技術、研發和生產壁壘，行業進入門檻較高，受此限制，目前離子束拋光機生產企業相對較少，主要包括德國NTG公司、美國伊士曼柯達、博頓光電、長沙埃福思科技、至臻光學、埃德萬斯、天創精工科技等企業。
近年來，得益于零部件供應能力提升、技術突破以及國家政策支持，我國離子束拋光機國產替代步伐逐漸加快。如至臻光學研制出了國內首臺離子束超精密拋光機，并實現推廣商用，打破了國外超精密拋光技術卡脖子問題，2024年至臻光學新研發制造基地正式投產，標志著其超精密光學元件制造能力進一步提升；博頓光電解決了國內在高端離子源及離子束設備領域存在的供應短缺、價格高的問題，離子源核心部件成本實現了大幅降低。
新思界
行業分析人士表示，在發展趨勢上，為滿足多方位應用需求，離子束拋光機將不斷向智能化、超高精度、多功能化等方向發展。離子束拋光機屬于高端設備，在制造業升級背景下，我國離子束拋光機市場存在巨大的發展和需求空間，未來隨著設備價格下降，離子束拋光機應用將更加廣泛。
