刻蝕是利用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料,并在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩模圖形的過程。刻蝕機(jī)是用于在材料表面進(jìn)行刻蝕加工的設(shè)備,在半導(dǎo)體、模擬芯片、太陽(yáng)能電池、光電子器件等領(lǐng)域中應(yīng)用廣泛。刻蝕機(jī)根據(jù)工作原理不同可分為激光刻蝕機(jī)、離子束刻蝕機(jī)、電化學(xué)刻蝕機(jī)等。
從下游市場(chǎng)來看,近年來在國(guó)家對(duì)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)支持力度不斷加大,企業(yè)研發(fā)及自主創(chuàng)新能力不斷提高的背景下,我國(guó)模擬芯片行業(yè)獲得快速發(fā)展,市場(chǎng)規(guī)模由2017年的2100億元左右增長(zhǎng)至2022年的2900億元左右,為刻蝕機(jī)提供廣闊消費(fèi)市場(chǎng)。
刻蝕機(jī)研發(fā)周期長(zhǎng)、生產(chǎn)工藝復(fù)雜、制造難度大,行業(yè)具有較高技術(shù)壁壘。美國(guó)、日本等國(guó)家半導(dǎo)體行業(yè)起步早,產(chǎn)業(yè)鏈體系較為完善,在刻蝕機(jī)領(lǐng)域具有較強(qiáng)技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)優(yōu)勢(shì),在全球市場(chǎng)中處于領(lǐng)先地位,代表性企業(yè)有東京電子、泛林半導(dǎo)體等。
我國(guó)刻蝕機(jī)行業(yè)經(jīng)過一段時(shí)間的發(fā)展,逐漸打破國(guó)外技術(shù)壟斷,生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量不斷增加,部分產(chǎn)品性能已經(jīng)達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平,行業(yè)呈現(xiàn)良好發(fā)展態(tài)勢(shì)。目前國(guó)內(nèi)刻蝕機(jī)生產(chǎn)企業(yè)主要有中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司、北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司、北京屹唐半導(dǎo)體科技有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司等。
中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司為國(guó)內(nèi)刻蝕機(jī)行業(yè)內(nèi)領(lǐng)先企業(yè),主要從事高端半導(dǎo)體設(shè)備及泛半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,所生產(chǎn)的等離子刻蝕機(jī)已應(yīng)用在國(guó)際一線客戶生產(chǎn)線上,產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了從65nm到5nm技術(shù)工藝的全面覆蓋。
新思界
行業(yè)分析人士表示,隨著我國(guó)科技發(fā)展水平不斷提升,半導(dǎo)體、集成電路等產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展,刻蝕機(jī)市場(chǎng)規(guī)模仍將保持增長(zhǎng)態(tài)勢(shì),行業(yè)具有良好發(fā)展前景。近年來在國(guó)家政策支持及下游市場(chǎng)需求的推動(dòng)下,我國(guó)刻蝕機(jī)生產(chǎn)技術(shù)不斷進(jìn)步,在國(guó)際市場(chǎng)中的競(jìng)爭(zhēng)力不斷增強(qiáng),國(guó)內(nèi)企業(yè)需要加大研發(fā)力度,憑借性價(jià)比優(yōu)勢(shì)積極開拓海外市場(chǎng),提升自身影響力。