準分子激光器是人們利用準分子只能在激發態穩定存在而基態極容易分解的特性發明的激光器件，其工作介質通常為高壓稀有氣體或者稀有氣體一鹵素形成的無機準分子材料，其驅動方式一般采用閘流管釋放高壓儲能電容器中的能量來產生快放電激勵。
準分子激光器由于具備高單色性、高功率以及高穩定性的優點，被廣泛應用于工業、醫療和科研等領域。在工業領域，準分子激光器可用于集成電路光刻、OLED顯示、微電子封裝、光纖光柵制備、微切割、微鉆孔等諸多方面；在醫療領域，準分子激光器主要用于眼科激光手術，也可用于治療白癜風等皮膚病、心血管治療和神經外科手術等；在科研領域，準分子激光器在激光誘導熒光、激光脈沖沉積、激光化學氣相沉積和激光誘導刻蝕等科研，等離子體物理研究、高溫超導、光激發質譜研究、同位素分離、抽運染料激光實現超短脈沖研究、慣性約束核聚變光源和非線性光學特性的研究方面都有著重要的應用。
自20世紀60年代，準分子激光器出現以來，其已經經歷了80多年的發展，形成了涵蓋大、中、小不同功率的產品系列，以及適應不同應用領域的產品系列。我國經過幾十年的科研攻關，也出現了北京科益虹源光電技術有限公司、深圳盛方科技有限公司、國科大（中山）科技創新服務有限公司等幾家企業，但是產品系列不完善，在光刻用高重頻準分子激光器、大功率準分子激光器等方面與國外還存在差距。
根據新思界發布的
《2023-2027年中國準分子激光器行業市場行情監測及未來發展前景研究報告》，盡管相較于固體激光器和光纖激光器等產品，準分子激光器具有體積大等缺點，但是其具有紫外波段的大能量和大功率輸出優勢，因此在諸多重點領域有著不可替代的作用，市場需求穩定增長。并且從下游發展來看，隨著我國國民經濟的發展和人們健康重視力度的提升，醫療行業蓬勃發展，成為準分子激光器行業發展的重要推動力；集成電力、OLED顯示等行業則呈現出產能向中國集聚的特點，為準分子激光器行業發展提供了增長動力。因此，中國準分子激光器行業市場前景廣闊。
新思界
產業分析師表示，中國需要繼續加強準分子激光器研究，加快自主化發展進程，避免被國外企業“卡脖子”。
