真空腔體是指保證內部為真空狀態的容器設備，當前在技術工藝要求不斷升級背景下，多數先進工藝均需在真空或惰性氣體保護條件下完成，因此，真空腔體應運而生，成為保證多種工藝順利實施的關鍵設備。
PECVD真空腔體則是等離子增強型化學氣相淀積（PECVD）技術工藝中所需真空腔體的總稱。根據用途不同，PECVD真空腔體可分為PECVD真空工藝腔體與PECVD真空傳送腔體兩大類；根據材質不同，PECVD真空腔體可分為不銹鋼、鋁合金、鈦合金真空腔體等。
等離子增強型化學氣相淀積（PECVD）是化學氣相淀積技術的一種，是指在低氣壓條件下，利用低溫等離子體在真空腔體的陰極上產生輝光放電，通過輝光放電使樣品升溫，再與氣體發生反應下，使樣品表面形成固態薄膜的過程。PECVD是制備薄膜光伏電池中非晶硅吸收層的關鍵工藝，而PECVD真空腔體則是PECVD工藝所需重要設備載體之一。當前在下游薄膜光伏電池市場快速發展帶動下，PECVD真空腔體行業迎來發展新機遇。
PECVD工藝在異質結（HJT）光伏電池中應用占比較大。HJT電池是光伏電池行業中具有顛覆性技術的新型電池，當前在光伏發電產業快速發展背景下，其產業化進程正不斷加快。目前已有愛康科技、寶馨科技、東方日升等多家企業布局HJT電池項目，2022年國內HJT電池擴產規模在20-30GW。根據新思界產業研究中心發布的
《2023-2028年PECVD真空腔體行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，未來隨著HJT電池加速擴產，預計到2025年，我國PECVD真空腔體市場規模有望達到7.9億元，2023-2025年規模復合年增長率將超過100%。
PECVD真空腔體屬于大型鑄件之一，目前國內具備量產能力的企業主要包括明志科技、日揚科技、神商精密器材、帕薩電子裝備等�，F階段，我國HJT電池尚未實現產業化，因此，作為其配套裝備的PECVD真空腔體行業仍處于初步發展階段，布局企業數量較少。
新思界
產業分析人士表示，異質結（HJT）電池是一種高效晶硅太陽能電池結構，是一類極具發展潛力的太陽能電池，當前在其優勢不斷凸顯背景下，其產業化進程正不斷加速。而PECVD真空腔體作為HJT電池核心生產工藝PECVD的關鍵設備載體，市場需求得以不斷增加。但目前國內PECVD真空腔體行業仍處于初步發展階段，未來還有巨大成長空間。
