準分子激光器是以準分子作為工作物質的一類氣體激光器。準分子激光器是目前紫外波段輸出功率最大的激光器，工作介質是惰性氣體、鹵素氣體和緩沖氣體的混合物。準分子激光器具有脈寬窄、功率高、波長短、能量大、方向性強等特點，在眼科屈光校正、血栓消融、半導體光刻、平板顯示、科研等領域應用廣泛。
準分子激光器輸出波長包括157nm、193nm、248nm、308nm等。準分子激光器兼具高脈沖能量、紫外波長輸出的特點，可用于生產高精度產品，基于此，準分子激光器得到了廣泛應用。如在半導體光刻領域，193nm ArF準分子激光器可應用于光刻10nm節點量產，193nm ArF準分子激光器可用于90nm及以下節點半導體量產；在面板顯示領域，308nm XeCl準分子激光器可用于低溫多晶硅退火；在醫療領域，193nm ArF準分子激光器可用于眼科屈光度校正術。
根據新思界產業研究中心發布的《
2023-2028年準分子激光器行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，準分子激光器市場發展時間較長，目前國內外均有較成熟的商用產品，生產企業主要有美國Coherent、荷蘭ASML、日本Gigaphoton、德國ATL、俄羅斯Optosystem、深圳盛方科技、中山普宏光電、科益虹源等，其中美國Coherent是全球最大的準分子激光器生產商。
激光器類型多樣，在需求升級背景下，準分子激光器也面臨著來自其他激光器的激烈競爭，如固體激光器、光纖激光器。近幾十年來，得益于準分子激光技術不斷突破，準分子激光器性能實現較大提升，但仍存在體積大、結構復雜、維護成本高等問題，未來降低成本、提高可維護性及穩定性仍是準分子激光器發展方向。
在高端領域，準分子激光器市場仍由國外企業壟斷，如高端光刻機所需的準分子激光器僅有美國Cymer（被荷蘭ASML收購）和日本Gigaphoton兩家企業具有供應能力。準分子激光器應用場景廣泛，我國是顯示面板、半導體生產大國，隨著電子產品向節能、小型、高精度方向升級，市場對高端準分子激光器的需求將進一步釋放，為保障供給安全，高端準分子激光器國產替代需求迫切。
新思界
行業分析人士表示，準分子激光器應用領域廣泛，隨著半導體集成度提升、顯示技術發展，高端準分子激光器應用需求將增加。我國企業應在已掌握的核心技術基礎上，持續優化完善生產工藝，打破國外技術壟斷，同時建立質量管理體系，加大高性能、低成本準分子激光器供應能力，以滿足市場升級需求。
