四甲基環四硅氧烷,也稱1,3,5,7-四甲基環四硅氧烷、2,4,6,8-四甲基環四硅氧烷,簡稱D4H、TMCTS,是一種含有硅-氫鍵、分子結構穩定的活性環狀硅氧烷,分子式為C4H16O4Si4,分子量為240.509,外觀為無色至淡黃色透明液體狀,密度0.986g/cm3,熔點-69℃,沸點134℃,不溶于水,需密封存儲,并遠離火種、高熱、酸堿。
在電子工業中,高純度電子級四甲基環四硅氧烷可以用作化學氣相沉積前驅體材料,在襯底表面沉積得到二氧化硅薄膜、碳化硅薄膜,作為絕緣層應用在晶體管等制造領域。除此之外,四甲基環四硅氧烷也可以用作光電材料浸漬劑、化妝品原料等。
四甲基環四硅氧烷的制備方法有,以線性聚甲基氫硅氧烷為原料,置入反應器,與烷烴溶劑混合,添加催化劑例如硫酸鐵、三氯化鐵、硫酸鋁、三氯化鋁,在一定溫度與壓力條件下攪拌進行環化反應,獲得甲基氫環硅氧烷,再通過分餾提純工藝得到四甲基環四硅氧烷。
2020年以來,我國四甲基環四硅氧烷制備工藝相關專利主要有,2020年12月,江西貝特利新材料有限公司申請的“一種四甲基環四硅氧烷的制備方法”,2025年2月,貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司申請的“一種電子級四甲基環四硅氧烷的提純方法”等。
2020年以來,我國四甲基環四硅氧烷應用相關專利主要有,2021年3月,桂林理工大學申請的“1,3,5,7-四甲基環四硅氧烷基環丙沙星熒光探針及其在鐵離子檢測中的應用”,環丙沙星經四甲基環四硅氧烷改性具有綠色熒光,當接觸Fe3+離子時熒光猝滅,基于此開發出Fe3+檢測用熒光探針。
新思界
行業分析人士表示,在我國,貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司可以提供純度6N級別的電子級四甲基環四硅氧烷產品。2025年5月,江西華特電子化學品有限公司“華特電子永修半導體新材料中試基地項目”環境影響報告書擬批準公示,項目總投資11800萬元,分兩期建設,一期建設內容中包括D4H(四甲基環四硅氧烷)生產裝置。
關鍵字: