五氯化鎢，屬于過渡金屬鹵化物，化學式WCl5，外觀為墨綠色晶體或暗藍色針狀晶體，相對密度3.875g/cm3，熔點248℃，沸點275.6℃，微溶于非極性溶劑，在多數極性溶劑中可分解，對水敏感，遇水分解生成五氧化二鎢，暴露在空氣中表面會生成膜，在空氣中加熱可生成四氯氧化鎢。
五氯化鎢可用作催化劑，能夠提高烯烴聚合、烯烴環氧化等反應效率；可用作中間體，用來合成鎢酸鹽、碳化鎢等其他鎢化合物，其中，碳化鎢可用來生產硬質合金，進而用來制造耐磨部件、切削工具等；高純度的電子級五氯化鎢可用作前驅體材料，利用化學氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等工藝在襯底表面沉積得到鎢薄膜，在沉積過程中，產品可分解進入硅襯底材料，能夠減少襯底材料的晶格缺陷，提高其質量。
五氯化鎢制備工藝路線較多，主要有：一定溫度條件下，六氯化鎢與紅磷進行還原反應制得；六氯化鎢在一定溫度條件下通入氫氣還原制得；六氯化鎢、四氯乙烯在真空條件下反應制得；鎢粉與氯氣反應制得；四氯化鎢通過歧化反應制得；三氯化鎢高溫條件下發生紅熱分解制得等。高純五氯化鎢制備，通常是將上述反應得到的產物置于惰性氣體環境中加熱升華后冷凝得到。
2021年8月，福建福豆新材料有限公司申請了一項名為“一種五氯化鎢的制備及純化方法”的專利，該專利以過量鎢粉為上層，以六氯化鎢為下層作為保護層，通入氯氣，鎢粉與氯氣反應得到五氯化鎢粗品，粗品經加熱升華、凝華得到高純五氯化鎢。
新思界
行業分析人士表示，在我國市場中，湖南省華京粉體材料有限公司可以提供五氯化鎢產品，其官網顯示，公司于2016年開始研發芯片金屬沉積特種材料五氯化鎢，目前產品純度、粒度、均一性等指標達到了高端芯片生產要求。
2025年8月，太和氣體（荊州）有限公司“高端電子化學品材料項目”環境影響報告書受理公告，項目總投資50000萬元，建設內容中包括99.999%純度的五氯化鎢5噸/年生產能力。
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