六氟丁二烯,又稱為全氟丁二烯,是一種化學式為C4F6的有機化學物,外觀呈無色透明液體狀,是一種新型的含氟電子氣體,可作為聚合物單體、合成中間體用于合成樹脂、含氟物質等化工產品生產場景,也可作為蝕刻氣用于半導體蝕刻制程中,市場需求空間較廣。
其中半導體是六氟丁二烯主要應用領域,在該領域,六氟丁二烯主要作為電子特氣用于半導體蝕刻制程中,與傳統的全氟烷烴類(PFCs)刻蝕氣相比,六氟丁二烯有著更優異的選擇性、環保性、蝕刻精度、蝕刻效率等。
當前在全球半導體產業快速發展背景下,用于刻蝕領域的蝕刻氣體需求不斷增加,而六氟丁二烯作為一類能夠兼顧性能、精度和環保的電子特氣,其已逐步成為半導體蝕刻環節所需重要氣體之一,市場需求持續增加。2022年全球六氟丁二烯市場規模已達3.5億美元,同比增長7.2%。
從生產端來看,六氟丁二烯生產方法主要有三氟三氯乙烷法,是指以三氟三氯乙烷為原材料,經過鋅粉脫氯、添加氯化碘、汞催化、光照耦合等環節生成中間體六氟四氯丁烷,再經過鋅粉脫氯得到六氟丁二烯的方法;三氯甲烷法,是指以三氯甲烷為原材料,經過化學反應制得中間體八氟二溴丁烷或八氟二碘丁烷,再經過脫氯環節生成六氟丁二烯的方法。
我國六氟丁二烯行業起步時間較晚,但在下游市場需求增長驅動下,國內入局六氟丁二烯研發與生產領域的企業正持續增加,主要包括南大光電、中化藍天、建陽金石氟業、金宏氣體、山東飛源氣體、和遠氣體、華特氣體、中船特氣、中巨芯科技等。未來隨著本土企業技術不斷升級,我國六氟丁二烯市場國產化水平有望持續提升。
新思界
行業分析人士表示,六氟丁二烯是一類重要的電子特種氣體,可廣泛用于半導體制程的蝕刻環節。從國內市場來看,當前在國內半導體產業快速發展背景下,六氟丁二烯需求持續增加,行業發展前景良好。但受技術限制,我國六氟丁二烯市場仍由國際企業占據主導地位,未來本土企業還需持續提升技術水平,促進國產化水平不斷提升。