乙硅烷，化學式為Si2H6，一種無機化合物，常溫常壓下外觀為無色氣體狀，有刺激性氣味。乙硅烷性質與硅烷類似，但穩定性較差，易分解。乙硅烷可溶于苯、二硫化碳等溶劑，易燃燒，在空氣中濃度高于0.2%時可自燃，分解為硅烷與氫氣，與氯仿、四氯化碳混合可激烈反應，與氯氣、鹵素氣體、六氟化硫等接觸會爆炸。乙硅烷是一種重要的化工原料以及電子級氣體。
在化工領域，乙硅烷可用來制備氫氣、高純硅等產品，以及用于石墨烯生長過程中。在電子領域，乙硅烷可應用于非晶硅生長、外延生長、化學氣相沉積、擴散、離子注入等工藝中，廣泛應用在半導體、集成電路、太陽能電池等領域。例如應用在PECVD、LPCVD工藝中，利用乙硅烷在非晶硅片上沉積薄膜，具有工作溫度要求低、成膜速度快的優點，且膜質量優異；在離子注入工藝中，乙硅烷可用作高效離子源。因此乙硅烷在芯片制造、太陽能電池領域具有巨大市場潛力。
根據新思界產業研究中心發布的
《2022-2027年中國乙硅烷行業市場供需現狀及發展趨勢預測報告》顯示，半導體、光伏產業發展拉動乙硅烷市場需求不斷釋放。2021年，全球乙硅烷市場規模約為2.1億美元；預計2021-2027年，全球乙硅烷市場將以12.3%左右的年均復合增速增長，到2027年市場規模將達到4.2億美元。在全球范圍內，中國乙硅烷需求增長更為快速，2021年，中國乙硅烷市場規模在全球總量中的占比為22.1%，預計到2027年將提升至23.4%。
乙硅烷制備方法主要有硅化鎂法、六氯乙硅烷還原法、甲硅烷放電法等，上游原材料主要包括硅化鎂、氯化氫、六氯乙硅烷、氫化鋁鋰、甲硅烷、液氮等。現階段在全球市場中，日本、北美地區乙硅烷產量占比大，但中國乙硅烷產能正在不斷擴張，預計未來5年內，中國乙硅烷產量占比將持續攀升，國內市場自給能力將不斷增強。
新思界
行業分析人士表示，在海外市場中，乙硅烷生產商主要有日本三井化學、韓國SK Materials、法國液化空氣集團、美國Voltaix（被法國液化空氣集團收購）、美國REC Silicon等。其中，三井化學在乙硅烷領域起步較早。在我國市場中，乙硅烷生產商主要有北方特氣、湖州迅鼎、博純材料、安徽亞格盛、全椒亞格泰、華特氣體以及臺灣特品化學等。其中，北方特氣可生產5N級別乙硅烷產品。
