ArF光刻膠是半導體光刻膠的主要產品之一,在半導體領域的應用可靠性較高,且是使用最廣泛的光刻光源。當前半導體制造中主流的工藝仍舊是8寸和12寸晶圓片,因此ArF光刻膠仍舊是市場主要的光刻膠品種,市場占比達到43%,其中在8寸晶圓片中應用最高,占比為23%。
ArF光刻膠是集成電路領域的關鍵原材料,主要用于90nm-14nm甚至7nm技術節點的集成電路制造工藝,被廣泛應用在高端芯片制造,如5G芯片、邏輯芯片、云計算芯片、AI芯片等領域。ArF光刻膠是目前分辨率最高的光刻膠,其生產技術門檻較高,截止到2019年國內ArF光刻膠完全依賴進口,因此未來進口替代的空間較大。
ArF光刻膠對應的是IC制程節點最為先進的產品,目前甚至能夠應用在7nm節點中,且在EUV技術成熟之前,ArF光刻膠仍將是市場主流產品。隨著雙/多重曝光技術的普及,光刻膠使用次數增長,因此ArF光刻膠的市場規模也將翻倍。
根據新思界產業研究中心發布的
《2021-2025中國ArF光刻膠行業市場現狀綜合研究及投資前景預測報告》顯示,當前國內市場需求的ArF光刻膠主要依賴進口,主要進口自JSR株式會社、東京應化工業、信越化學、信越化學等。ArF光刻膠進口依賴度高,不利于我國半導體產業發展,因此在政策的鼓勵下,部分企業布局在ArF光刻膠的研發領域。當前擁有一定技術實力,且實現了產業化突破的企業有寧波南大光電、上海新陽、北京科華、晶瑞股份、江蘇漢拓、廣州微納光刻材料。而實現規模化量產的企業有寧波南大光電、博康旗下漢拓光學、廣州微納光刻材料。
雖然我國已經實現了ArF光刻膠生產,但國產產品質量差,和進口產品相比存在折射率、光敏度、分辨率等參數差距。但總體來看,ArF光刻膠行業發展較好,隨著半導體產業的快速發展,ArF光刻膠市場需求持續攀升,未來市場發展空間較大。
新思界
產業分析人士表示,光刻膠應用在芯片生產中,受益于人工智能、互聯網等技術的快速發展,芯片產需攀升,ArF光刻膠行業發展前景較好。ArF光刻膠屬于光刻膠中高端產品,技術門檻高,國內市場主要被進口品牌占據,國內企業經過幾年的研究,實現了技術性突破,已有企業達到規模化生產能力,但尚未有商品化產品上市。