電子級三氟化磷，是指純度在99.99%（4N）及以上的高純度三氟化磷，屬于電子特氣。
三氟化磷，別名氟化亞磷，化學式PF3，分子量87.969，常溫常壓下外觀為無色氣體狀，無味，吸入有毒性，會對眼睛、皮膚造成嚴重損傷，熔點-151.3℃，沸點-101.2℃，可溶于水乙醇，可與水反應釋放有毒氟化氫氣體，可與氧、氟發生劇烈反應，存儲需密封。
三氟化磷的制備方法主要有：將氟化鋅、氟化鈉、氟化鈣等氟化劑，與三氯化磷或三溴化磷進行反應得到；副產物五氟化磷與白磷在氫氣存在下，通過催化還原反應進行制備等。電子級三氟化磷制備是以工業級三氟化磷為原料，通過精餾、閃蒸、過濾等工藝經純化得到。
工業級三氟化磷在有機合成領域可以用作氟化劑，為有機化合物引入氟原子，能夠用來制備含氟農藥、含氟染料、含氟醫藥等；在貴金屬冶煉中，可與雜質金屬反應生成易揮發的金屬氟化物（不與貴金屬反應），能夠提高貴金屬純度；可與氧氣反應制備三氟氧磷。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025年中國電子級三氟化磷市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，對比來看，電子級三氟化磷主要應用在半導體產業中，可用作摻雜劑、離子注入源，作為磷源，通過離子注入工藝改變硅等半導體材料的導電性能，進而應用在晶體管、二極管等制造領域；可用于晶圓制造過程中的低溫刻蝕工藝環節，與鎢、鉬等金屬反應生成易揮發的金屬氟化物，實現金屬布線的精細刻蝕，從而實現晶圓表面微結構精準調控。
在我國，天津威斯特科技發展有限公司可以提供純度≥99.99%的電子級三氟化磷產品，2025年3月，其控股子公司威斯特（東營）特種氣體有限公司“威斯特氣體年產41噸電子新材料項目（一期）”環境影響評價文件擬審批公示，建設內容中包括電子級三氟化磷生產裝置。
除此之外，2025年5月，江西華特電子化學品有限公司“華特電子永修半導體新材料中試基地項目”環境影響報告書擬批準公示，一期建設項目中包括三氟化磷生產線；2025年8月，太和氣體（荊州）有限公司“高端電子化學品材料項目”環境影響報告書受理公告，其中包括三氟化磷產能100噸/年，產品純度99.999%。
新思界
行業分析人士表示，我國半導體產業發展迅速，拉動市場對電子特氣的需求持續增長，傳統電子級三氟化磷應用領域集中在離子注入方面，近年來晶圓低溫刻蝕環節對其需求快速上升。電子級三氟化磷市場空間增大，因此我國進入布局的企業增多，行業產能將持續擴大。
關鍵字：
