碳化硅外延片,又稱SiC外延片,指在碳化硅襯底上通過CVD或MBE技術制成的一層薄層材料,其保持了襯底層的晶體結構。碳化硅外延片具有電子飽和速度快、帶隙寬、熱導率高、耐輻射等優勢,在傳感器、光電器件、電力系統、航空航天、汽車制造以及通信系統等領域應用潛力巨大。
化學氣相沉積法(CVD)以及分子束外延法(MBE)為碳化硅外延片制備方法。CVD法具有能夠控制摻雜類型、成品質量好、操作靈活性高、運行成本低等優勢,為碳化硅外延片主流制備方法。
近年來,為規范市場發展,我國有關部門已制定多項碳化硅外延片相關行業標準。2024年4月,國家標準化管理委員會發布國家標準《GB/T 43885-2024 碳化硅外延片》,該項標準將于2024年11月正式實施,文件針對碳化硅外延片的分類、試驗方法、技術要求進行了明確規定。未來伴隨行業標準不斷完善,我國高質量碳化硅外延片市場占比將不斷提升。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2028年碳化硅外延片(SiC外延片)行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示,碳化硅外延片在傳感器、光電器件、電力系統、航空航天、汽車制造以及通信系統等領域應用潛力巨大。在電力系統領域,碳化硅外延片能有效提升電力轉換效率,可應用于智能電網中;在航空航天領域,其具有耐高溫優勢,可用于飛機控制系統以及通訊導航系統中;在汽車制造領域,其可用于制造汽車電子器件。隨著應用需求日益旺盛,碳化硅外延片行業景氣度不斷提升。2023年全球碳化硅外延片市場規模達到近15億美元。
在全球市場中,日本昭和電工株式會社(Showa Denko)為全球最大碳化硅外延片生產商,具備8英寸產品大規模生產實力。在本土市場中,我國碳化硅外延片市場主要參與者包括晶睿電子、天岳先進、瀚天天成、同光股份、天科合達等。瀚天天成正在積極推進“6-8英寸碳化硅外延晶片產業化項目”建設,據其企業招股書顯示,2023年1-6月,公司碳化硅外延片產能達到12萬片。
新思界
行業分析人士表示,受益于第三代半導體材料行業發展速度加快,碳化硅外延片應用需求不斷增長。未來伴隨行業標準不斷完善以及技術進步,我國碳化硅外延片產量及質量將得到進一步提高。在市場競爭方面,我國碳化硅外延片生產企業眾多,瀚天天成占據市場較大份額。