半導體量檢測設備，是面向前道晶圓制造和中道先進封裝工藝的質量控制設備，是芯片良率的關鍵。
根據細分工藝不同，半導體量檢測設備分為檢測設備和量測設備。檢測設備用于檢測晶圓表面或電路結構中是否出現顆粒污染、開短路、表面劃傷等異質情況；量測設備用于對被觀測晶圓電路的薄膜厚度、表面形貌、關鍵尺寸、刻蝕深度等物理性參數的測量。
根據新思界產業研究中心發布的
《2026-2030年全球及中國半導體量檢測設備行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，半導體設備包括刻蝕設備、薄膜沉積設備、光刻設備、清洗設備、量檢測設備、離子注入設備等，其中量檢測設備全球市場占比超12%，是第四大細分設備。受產業轉移、AI算力需求爆發式增長、政策支持等因素驅動，我國成為全球最大的半導體制造和消費大國。根據美國半導體協會（SIA）數據顯示，2025年1-10月，中國大陸半導體銷售額約為1694億美元，同比增長12.5%，這為我國半導體量檢測設備市場帶來旺盛需求。
在全球半導體量檢測設備市場上，歐美日企業憑借研究起步早、技術積累深厚、產品體系較為完善等優勢占據主導地位，其中美國科磊（KLAC）為龍頭企業，荷蘭ASML公司、美國應用材料AMAT、日本日立（HITACHI）等企業占據小部分市場份額。我國半導體量檢測設備市場依賴進口，尤其是高端市場，國產化率不足5%。隨著布局企業增多以及企業實現技術突破，我國半導體量檢測設備國產替代進程有望加快。
中科飛測、精測電子、新凱來、天準科技、北電檢測等是我國半導體量檢測設備市場主要參與者，其中中科飛測為龍頭企業。根據招股書顯示，2024年中科飛測半導體量檢測設備出貨量達1000臺。中科飛測目前已推出多款半導體量檢測設備，并且在相關細分領域成功打破國外企業壟斷，例如，中科飛測研發的REDWOOD-900型明場納米圖形晶圓缺陷檢測設備檢測精度達到10nm級，打破了美國科磊（KLA）對14nm以下檢測設備的壟斷，填補了國內市場的空白。
新思界
行業分析人士表示，隨著半導體行業規模不斷擴大，半導體量檢測設備作為芯片良率管控的重要保障，市場需求將持續釋放。目前我國半導體量檢測設備市場基本由國際巨頭所壟斷，國產替代需求極為迫切。在國家加大政策支持力度，以及本土企業研發能力增強、進行差異化布局等利好下，我國半導體量檢測設備國產化率將逐漸提升。
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