干式真空泵是一種無需油潤滑的機械真空設備，根據工作原理不同，分為羅茨真空泵、螺桿式真空泵、爪式真空泵，其中羅茨真空泵根據級數不同分為單級羅茨干式真空泵和多級羅茨干式真空泵。
多級羅茨干式真空泵級數為3至6級，結構型式為多級羅茨轉子串聯在一對真空泵上做反向同步旋轉運動，轉子與泵腔間有細小間隙而互不接觸。多級羅茨干式真空泵通過多級串聯的形式使氣體被逐級壓縮，最后排出。
多級羅茨干式真空泵具有效率高、耐腐蝕、能耗低、抽速范圍寬、抽氣腔內無油污水等特點，在半導體、石油化工、食品加工、制藥等領域廣泛應用。在半導體領域，多級羅茨干式真空泵能夠有效維持高度清潔和真空的環境，可應用于薄膜沉積、光刻、蝕刻等環節；在制藥領域，多級羅茨干式真空泵能夠提供無菌和純凈的生產環境，為維護藥物生產過程不受外界污染提供支持；在食品加工領域，多級羅茨干式真空泵可用于食品脫水、冷凍干燥等環節。
近年來，我國出臺多項相關標準，推動多級羅茨干式真空泵行業高質量發展，包括行業標準《真空技術 多級羅茨干式真空泵（JB/T 11237-2011）》、團體標準《半導體用多級羅茨干式真空泵（T/STIC 110096—2024）》《多級羅茨干式真空泵（T/ZZB 3749—2024）》等。
根據新思界產業研究中心發布的
《中國多級羅茨干式真空泵產業發展及“十五五規劃”建議報告》顯示，2024年全球羅茨真空泵市場規模約為23億元，預計2025-2030年期間其市場將繼續以4.3%年復合增長率（CAGR）增長。在此背景下，多級羅茨干式真空泵作為羅茨真空泵行業細分產品，全球市場也將有所增長。
我國多級羅茨干式真空泵市場生產企業包括浙江博亞精密機械有限公司、費萊（浙江）科技有限公司、浙江萊斯特真空裝備有限公司等。浙江博亞精密機械有限公司是國內領先的提供真空系統優質解決方案企業，專注研發生產高端多級羅茨泵、螺桿真空泵，其中研發的“多級羅茨真空泵”入選《2024年第一批“浙江制造”標準清單》。
新思界
行業分析人士表示，多級羅茨干式真空泵性能優良，應用領域廣泛。隨著企業生產技術逐漸進步，多級羅茨干式真空泵綜合性能不斷提升，市場發展空間持續拓展。隨著領先企業持續進行產品創新，我國多級羅茨干式真空泵行業高端化發展進程加快，全球市場競爭力也將增強。
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