半導體潔凈室，指通過控制空氣中微粒、溫濕度等參數形成的封閉潔凈空間。半導體潔凈室具備潔凈度等級極高、環境控制精密等特點，為半導體制造基礎設施。
半導體潔凈室通常由空氣凈化系統、門窗系統、通風與空氣調節系統（HVAC）、觀察窗、圍護結構、照明設備以及電氣系統構成。空氣凈化系統包括超高效過濾器（ULPA）、預過濾器以及高效過濾器（HEPA）。經過多年發展，我國超高效過濾器技術不斷進步，已有多家企業具備其生產實力，這將為半導體潔凈室行業發展提供有利條件。
按照氣體流動狀態不同，半導體潔凈室可分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室以及矢量潔凈室。矢量潔凈室具備節能、凈化效率高等優勢，其潔凈度可達到ISO5級，為半導體潔凈室代表產品。
半導體潔凈室為半導體制造基礎設施。近年來，隨著國家政策支持以及技術進步，我國芯片產量持續增長。據國家工信部統計數據顯示，2025年前三季度，我國芯片產量達到3819億塊，同比增長8.6%。刻蝕、光刻、離子注入、薄膜沉積等芯片前道工藝對于潔凈度要求極高，通常介于ISO3~5級之間。隨著下游行業發展速度加快，我國半導體潔凈室市場規模進一步增長。根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國半導體潔凈室市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，2024年我國半導體潔凈室市場規模達到近1700億元，創造歷史新高。
我國半導體潔凈室市場主要參與者包括柏誠股份、亞翔集成、圣暉集成、華康潔凈、合潔科技等。亞翔集成專注于為高科技電子產業提供潔凈室工程，目前已與中芯國際、長江存儲等知名芯片制造商達成合作。圣暉集成為我國潔凈室代表企業，據其企業半年報顯示，2025年上半年公司半導體潔凈室業務實現營收5.3億元。華康潔凈專注于醫用潔凈室以及半導體潔凈室的研發、設計、實施和運維，目前產品已在芯片、先進封裝、功率器件、光電器件等工廠獲得應用。
新思界
行業分析人士表示，隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國芯片產能不斷擴張，這將為半導體潔凈室帶來廣闊市場前景。目前，我國半導體潔凈室行業集中度較高，頭部優勢企業占據市場主要份額。未來隨著本土企業持續發力，我國半導體潔凈室行業發展態勢將持續向好。
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