半導體制造的四大關鍵裝備分別為刻蝕機、光刻機、離子注入機以及鍍膜設備。離子注入機，指能夠將帶電雜質離子加速到預定能量并注入到芯片表層的設備。離子注入機具備低溫穩定性好、可實現高精度控制、靈活性高、成品質量好等優勢，在集成電路制造領域應用廣泛。
按照離子束電流和束流能量范圍不同，離子注入機可分為高能離子注入機、高能大束流離子注入機、低能大束流注入機以及中束流注入機等。低能大束流離子注入機基于低能大束流技術制得，具備生產效率高、工作精度高等優勢，應用范圍較廣，為離子注入機市場主流產品。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年離子注入機行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，離子注入機主要應用于集成電路制造環節。近年來，隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國集成電路產量不斷增長。據國家工信部統計數據顯示，2025年1-7月，我國集成電路產量達到2946億塊，同比增長10.4%。隨著下游行業景氣度提升，我國離子注入機行業發展態勢將持續向好。
經過多年發展，我國離子注入機技術不斷進步，市場國產化率有所提升，但高端產品仍依賴進口。據中國海關總署統計數據顯示，2024年我國離子注入機（海關編碼：84862050）進口量達到553臺，出口量達到277臺。美國、日本和韓國為我國離子注入機主要進口國。
全球離子注入機主要生產企業包括美國亞舍立公司（Axcelis Technologies）、美國應用材料公司（Applied Materials）、日本日新離子機械株式會社等。美國應用材料為全球離子注入機代表企業，市場占比達到近七成。
在本土方面，我國離子注入機市場主要參與者包括江蘇晉譽達半導體股份有限公司、華海清科股份有限公司、北京中科信電子裝備有限公司、青島思銳智能科技股份有限公司以及上海凱世通半導體股份有限公司等。2025年7月，華海清科自主研發的首臺12英寸低溫離子注入機iPUMA-LT順利出貨。
新思界
行業分析人士表示，受益于我國集成電路產量不斷增長，離子注入機作為其前道工藝設備，市場空間不斷擴展。與海外發達國家相比，我國離子注入機行業起步較晚，具備高端產品生產實力的企業數量較少。未來本土企業亟需加大研發投入力度，以提升我國國產離子注入機市場占比。
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