IGZO蝕刻液，又稱氧化銦鎵鋅選擇性蝕刻液，指能夠蝕刻基板上IGZO層的功能性電子化學品。IGZO蝕刻液需具備側刻量小、無蝕刻殘留、蝕刻率高、使用壽命長、穩定性好等特點，在半導體及顯示器件領域擁有巨大應用潛力。
近年來，隨著本土企業及相關科研機構持續發力，我國IGZO蝕刻液相關專利數量不斷增加，主要包括《一種IGO和IGZO的酸性選擇性蝕刻液》、《一種兼容IGZO和ITO蝕刻液及其制備方法和應用》、《一種平板顯示用ITO及IGZO蝕刻液及其制備方法》、《一種IGZO薄膜蝕刻液》、《平板顯示陣列制程用新型IGZO蝕刻液》等。未來隨著研究深入、技術進步，我國IGZO蝕刻液行業發展速度有望加快。
IGZO蝕刻液主要包括酸性蝕刻液、堿性蝕刻液兩種類型。酸性蝕刻液通常以硝酸、硫酸和磷酸等無機酸為基材，與有機酸相混合制成，具備蝕刻速率高、選擇性可控、生產成本低等優勢，為IGZO蝕刻液代表產品。堿性蝕刻液具備控制精度高、側蝕小等優勢，但其運行成本較高。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國IGZO蝕刻液市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，IGZO蝕刻液作為一種功能性電子化學品，在芯片制造以及顯示面板制造過程中擁有廣闊應用前景。近年來，隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國芯片產量持續增長，據國家工信部統計數據顯示，2025年前三季度，我國集成電路產量達到3819億塊，同比增長8.6%。IGZO蝕刻液能夠精確蝕刻IGZO層而不損傷其他材料層，未來在市場需求帶動下，其行業發展空間將進一步擴展。
受市場前景吸引，我國已有多家企業布局IGZO蝕刻液行業研發及生產賽道，主要包括江化微電子、興福電子材料、晶瑞電子、格林達電子材料、博洋化學、新宙邦等。興福電子專注于濕電子化學品的研發、生產及銷售，其蝕刻液產品包括IGZO蝕刻液、金屬蝕刻液以及多晶硅蝕刻液等。據興福電子企業半年報顯示，2025年上半年公司功能濕電子化學品實現營收9874.7萬元。
新思界
行業分析人士表示，受益于我國半導體以及顯示面板行業發展速度加快，IGZO蝕刻液市場空間不斷擴展。隨著研究深入、技術進步，我國IGZO蝕刻液產量及質量不斷提升。目前，我國IGZO蝕刻液生產企業眾多，未來具備高質量產品生產實力的企業將占據市場更大空間。
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