四甲基氫氧化銨(TMAH)又稱氫氧化四甲基銨,是一種有機(jī)胺鹽堿性化合物,有無色結(jié)晶體及水溶液兩種形態(tài),帶有氨臭味,易溶于水和有機(jī)溶劑。
TMAH具有強(qiáng)堿性及強(qiáng)氧化性,在電子、光學(xué)及化學(xué)工業(yè)中發(fā)揮著重要作用。電子級TMAH主要用作顯影液,應(yīng)用于集成電路(IC)、液晶顯示(LCD)、光電子等場景。在化學(xué)工業(yè)中,TMAH可用作溶劑、稀釋劑、增稠劑等,應(yīng)用在顏料、樹脂、涂料等領(lǐng)域,以提高材料的粘度和流動性。
近年來,集成電路等電子行業(yè)對化學(xué)品的雜質(zhì)要求越來越嚴(yán)苛,TMAH因其不含金屬離子、高溫條件下分解無殘留等優(yōu)勢,逐漸取代KOH、NaOH等無機(jī)堿顯影液,成為新一代顯影液原料。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2030年中國四甲基氫氧化銨(TMAH)行業(yè)市場深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測報告》顯示,2024年我國濕電子化學(xué)品市場規(guī)模約250億元,2030年有望增長至400億元,顯影液作為功能濕電子化學(xué)品之一,市場規(guī)模也將快速增長,進(jìn)而將帶動TMAH市場需求空間擴(kuò)大。
碳酸鹽電解法是國內(nèi)TMAH主要生產(chǎn)工藝,該工藝主要合成原料包括三甲胺、碳酸二甲酯(DMC)等,我國三甲胺供應(yīng)商包括山東華魯恒升、魯西化工、陜西興化化學(xué)、安徽凌天等。此外TMAH制備方法還包括沉淀法、加成法、離子交換樹脂法、離子膜電解法等。
TMAH技術(shù)壁壘高,全球市場主要由日本東京應(yīng)化、美國三開化學(xué)、日本德山株式會社、韓國東友等國外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)。但近年來,我國企業(yè)逐漸打破了技術(shù)壟斷,實(shí)現(xiàn)了電子級TMAH顯影液國產(chǎn)替代,產(chǎn)品還外銷至韓國、日本、臺灣等地區(qū)。
我國TMAH相關(guān)企業(yè)包括杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司(格林達(dá))、信聯(lián)電子材料科技股份有限公司、南潤晶云工程技術(shù)(集團(tuán))股份有限公司等。其中格林達(dá)是國內(nèi)TMAH顯影液龍頭,2004年自主研發(fā)了內(nèi)第一套顯示面板用TMAH顯影液工業(yè)化生產(chǎn)線,目前其核心產(chǎn)品TMAH顯影液相關(guān)技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到SEMI G5標(biāo)準(zhǔn)要求。
新思界
行業(yè)分析人士表示,TMAH在電子、光學(xué)及化學(xué)工業(yè)中發(fā)揮著重要作用,尤其在電子工業(yè)中,TMAH是新一代顯影液主要原料,目前我國TMAH顯影液已突破技術(shù)壟斷,國產(chǎn)化率不斷提升,隨著集成電路、液晶顯示等行業(yè)發(fā)展,及本土企業(yè)技術(shù)升級,TMAH市場空間將進(jìn)一步擴(kuò)大。
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