MEMS微振鏡，又稱MEMS掃描鏡、MEMS微鏡，指采用光學MEMS技術制成的光學微機電器件。MEMS微振鏡具備集成度高、微型化、功耗低、運行成本低、使用壽命長等優勢，在機器人制造、智能駕駛、醫療衛生、消費電子等眾多領域擁有巨大應用潛力。
MEMS微振鏡種類豐富。按照反饋方式不同，MEMS微振鏡可分為電容反饋式MEMS微振鏡、光電反饋式MEMS微振鏡、無反饋MEMS微振鏡、壓阻反饋式MEMS微振鏡；按照驅動方式不同，可分為壓電驅動式MEMS微振鏡、電熱驅動式MEMS微振鏡、靜電驅動式MEMS微振鏡以及電磁驅動式MEMS微振鏡；按照轉動軸數不同，可分為雙軸以及單軸MEMS微振鏡等。未來隨著細分產品應用需求增長，MEMS微振鏡行業景氣度有望提升。
根據新思界產業研究中心發布的《
2026-2031年MEMS微振鏡行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，MEMS微振鏡作為激光光束偏轉元件，可用于制造MEMS固態激光雷達，機器人制造、智能駕駛、醫療衛生、消費電子等領域為其終端市場。與傳統機械式激光雷達相比，MEMS固態激光雷達具備結構緊湊、運行成本低、易于集成、安全可靠性高等優勢。目前，我國企業已掌握MEMS固態激光雷達核心制備技術，這將為MEMS微振鏡行業發展帶來機遇。
全球MEMS微振鏡主要生產企業包括美國Mirrorcle公司、德國博世公司（Bosch）、日本Nippon Signal公司等。美國Mirrorcle具備7.5mm MEMS微振鏡批量供應能力。在本土方面，英唐智控、中科融合、奧比中光、小優智能、威唐工業、賽微電子等為我國MEMS微振鏡市場主要參與者。英唐智控擁有完整MEMS微振鏡產業鏈，產品已在消費電子和智能駕駛領域獲得廣泛應用。
雖然應用前景廣闊，但MEMS微振鏡行業發展仍面臨諸多技術問題亟待解決。一方面，MEMS微振鏡的尺寸較小且掃描角度有限，無法滿足大口徑MEMS激光雷達光學系統應用需求；另一方面，MEMS微振鏡具備振動敏感性，應用于車載環境中，易對其性能及使用壽命產生影響。
新思界
行業分析人士表示，MEMS微振鏡作為一種光學微機電器件，在眾多領域擁有廣闊應用前景。未來隨著市場需求日益旺盛，MEMS微振鏡行業發展空間將得到進一步擴展。目前，MEMS微振鏡行業發展仍面臨諸多技術難題。未來隨著本土企業持續發力，我國MEMS微振鏡行業將逐漸往高性能、高質量方向發展。
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