單光子探測器(SPD)是一類具備單光子級探測能力的精密探測器,作為量子精密測量技術中的關鍵元件,主要用于量子增強雷達、光鐘等設備。單光子探測器包括基于半導體材料的雪崩光電二極管(APD)、超導納米線單光子探測器(SNSPD)和單光子光電倍增管(PMT)。
超導納米線單光子探測器(SNSPD)的工作原理基于超導態在單光子激發下的瞬態轉變。當納米線結構處于超低溫環境下時,一個入射光子攜帶的能量足以破壞其局部超導態,形成局域“熱點”并引發可測量的電阻躍變,從而實現對單個光子的靈敏響應。這一機制使其具備了一系列傳統半導體探測器難以比擬的優勢:探測效率極高(系統探測效率可達95%以上),幾乎無暗計數(噪聲極低),響應速度極快(可達皮秒量級),并且對從可見光到紅外光,尤其是通信波段(如1310納米、1550納米)的光子具有出色響應能力。這些特性使其成為量子密鑰分發、量子光源表征、量子計算讀出的核心部件。
全球范圍內,SNSPD技術研發與市場競爭日趨激烈。早期技術領先者主要集中在歐美及日本的研究機構與公司手中。然而,近年來,中國科研機構與企業在此領域取得了系列突破性進展,正快速縮短與國際先進水平的差距,并在部分指標上實現并跑甚至領跑。國內多家頂尖研究單位,如中國科學技術大學、上海微系統與信息技術研究所等,持續在SNSPD的材料設計、納米加工工藝、低溫封裝集成以及高效率光纖耦合等方面取得原創性成果。
與此同時,國內高科技企業,如賦同量子科技(浙江)有限公司致力于推動SNSPD的工程化與產品化,實現了芯片設計、工藝制備及系統集成的完全自主研發,研制出性能穩定、易于集成、可批量供應的商用SNSPD系統,產品在探測效率、暗計數率等關鍵參數上已達到國際一流水平,相關技術已在中國、美國和日本獲得專利。
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