電子級三氟甲烷，是一種純度大于99.999%，氧氣、氮氣、二氧化碳以及氟碳化合物等指標均需小于1ppm的化學物。
三氟甲烷也稱為氟仿，是生產二氟一氯甲烷（HCFC-22）的副產物，化學式為CHF3，常溫常壓下為無色氣體，溶于水、乙醇、丙酮。根據純度和應用領域不同，三氟甲烷分為工業級三氟甲烷和電子級三氟甲烷。工業級三氟甲烷主要作為制冷劑、滅火劑、發泡劑等，在制冷、化工、消防等領域廣泛應用。電子級三氟甲烷主要作為等離子蝕刻劑，用于半導體、平板顯示器等制造中。
隨著研究逐漸深入，我國相關電子級三氟甲烷生產工藝和裝置專利數量不斷增長，2020年來包括“電子級三氟甲烷的純化裝置及純化工藝”、“一種電子級三氟甲烷的純化方法”、“一種用于電子級三氟甲烷制備的吸附塔”、“用于電子級三氟甲烷制備的精餾控制系統及其控制方法”等。在此利好下，我國電子級三氟甲烷行業發展速度進一步加快。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年全球及中國電子級三氟甲烷行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，隨著5G/6G、AI、物聯網等技術發展，我國半導體行業呈現出快速增長趨勢。2024年我國半導體市場規模約為1.55萬億元，2010-2024年期間其市場年復合增長率達18%。在此背景下，我國半導體行業對電子級三氟甲烷等相關電子化學品需求將持續旺盛。
全球電子級三氟甲烷生產企業包括關東電化工業株式會社、大陽日酸株式會社、Resonac、 SK Materials、福建德爾科技股份有限公司、默克（Merck）、阿科瑪（Arkema）等。
福建德爾科技股份有限公司是國內唯一具備自主合成三氟甲烷并提純至電子級能力的企業。2025年10月，福建省工業和信息化廳公布免染消費后再生錦綸6纖維（16.5dtex/7F FDY）等30款新材料新產品名單，其中福建德爾科技“電子級三氟甲烷（99.9999）”入選。
新思界
行業分析人士表示，電子級三氟甲烷作為蝕刻劑，在半導體領域應用空間較為廣闊。隨著我國半導體市場規模不斷擴大，電子級三氟甲烷市場需求也將隨之釋放。相較于國外企業，我國電子級三氟甲烷行業生產水平較低，因而對外依存度較大。福建德爾科技持續加大研發力度，致力于突破“卡脖子”技術，成功批量生產電子級三氟甲烷。在領先企業持續發力下，我國電子級三氟甲烷國產化進程加快推進。
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