氬氣退火片,指在氬氣保護(hù)條件下,能對(duì)已拋光硅晶圓進(jìn)行高溫?zé)崽幚淼陌雽?dǎo)體襯底材料。氬氣退火片具備消除應(yīng)力、控制缺陷、吸附金屬雜質(zhì)以及提升表面質(zhì)量等作用,在電子電氣領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力。
近年來(lái),隨著行業(yè)景氣度提升,我國(guó)氬氣退火片研發(fā)熱情持續(xù)高漲,帶動(dòng)其相關(guān)專(zhuān)利數(shù)量不斷增加,主要包括《一種控制氬退火片邊緣Haze的工藝》、《消除定位切口位置應(yīng)力的單晶硅氬退火片制備方法》、《一種控制氬退火片COPFREE深度的工藝》等。未來(lái)隨著研究深入、技術(shù)進(jìn)步,我國(guó)氬氣退火片行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。
氬氣退火片通常以單晶硅為主要原材料。單晶硅具備高溫穩(wěn)定性好、純度高、抗壓強(qiáng)度高等特點(diǎn),在半導(dǎo)體制造以及光伏電池制造過(guò)程中應(yīng)用較多。單晶硅制備方法包括區(qū)域熔煉法以及直拉法兩種。受益于技術(shù)進(jìn)步,我國(guó)單晶硅產(chǎn)量不斷增長(zhǎng),2024年達(dá)到近100萬(wàn)噸。原材料優(yōu)勢(shì)將為我國(guó)氬氣退火片行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025年中國(guó)氬氣退火片市場(chǎng)專(zhuān)項(xiàng)調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報(bào)告》顯示,氬氣退火片在電子電氣領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力,其可用于顯示面板驅(qū)動(dòng)IC、電源管理IC、CMOS邏輯電路以及Flash存儲(chǔ)器件制造過(guò)程中。近年來(lái),隨著全球顯示面板產(chǎn)業(yè)逐漸向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移,我國(guó)顯示面板驅(qū)動(dòng)IC市場(chǎng)需求不斷增長(zhǎng)。2024年我國(guó)顯示面板驅(qū)動(dòng)IC市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到近450億元,同比增長(zhǎng)近10%。氬氣退火片能夠改善顯示面板驅(qū)動(dòng)IC的表面缺陷及性能,未來(lái)隨著下游行業(yè)景氣度提升,其市場(chǎng)空間將有所擴(kuò)展。
我國(guó)氬氣退火片主要生產(chǎn)企業(yè)包括中欣晶圓、中環(huán)領(lǐng)先、超硅半導(dǎo)體、神工股份等。超硅半導(dǎo)體專(zhuān)注于半導(dǎo)體硅片的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售,主營(yíng)產(chǎn)品包括SOI硅片、氬氣退火片以及硅外延片等。據(jù)超硅半導(dǎo)體企業(yè)招股書(shū)顯示,2025年上半年公司氬氣退火片銷(xiāo)售額達(dá)到3318.8萬(wàn)元。神工股份主營(yíng)業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體單晶硅及相關(guān)產(chǎn)品,目前已掌握氬氣退火片核心制備技術(shù)。
新思界
行業(yè)分析人士表示,氬氣退火片性能優(yōu)異,在電子電氣領(lǐng)域擁有潛在應(yīng)用價(jià)值。未來(lái)隨著市場(chǎng)需求逐漸釋放,我國(guó)氬氣退火片行業(yè)發(fā)展空間將進(jìn)一步擴(kuò)展。受益于原材料供應(yīng)充足以及技術(shù)進(jìn)步,我國(guó)氬氣退火片產(chǎn)量及質(zhì)量不斷提升。未來(lái)隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力,我國(guó)氬氣退火片將迎來(lái)廣闊市場(chǎng)前景。
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