氮化鋁陶瓷加熱器,指以氮化鋁陶瓷(AlN)為基體材料制成的熱轉(zhuǎn)換裝置。氮化鋁陶瓷加熱器具備工作溫度范圍寬、響應(yīng)速度快、安全可靠性高、節(jié)能環(huán)保等優(yōu)勢(shì),在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域擁有潛在應(yīng)用價(jià)值。
氮化鋁陶瓷加熱器以氮化鋁陶瓷(AlN)為基體材料制成。氮化鋁,是一種類金剛石氮化物,外觀呈白色或灰白色粉末,具備電絕緣性好、導(dǎo)熱性佳、熱膨脹系數(shù)低、耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)勢(shì),在電子電氣、航空航天、通信系統(tǒng)以及工業(yè)制造等眾多領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。高能球磨法、直接氮化法、氯化鋁熱解法、碳熱還原法以及自蔓延高溫合成法等為氮化鋁主要制備方法。近年來,隨著技術(shù)進(jìn)步,我國(guó)氮化鋁產(chǎn)量不斷增長(zhǎng),這將為氮化鋁陶瓷加熱器行業(yè)發(fā)展提供有利條件。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025年中國(guó)氮化鋁陶瓷加熱器市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報(bào)告》顯示,氮化鋁陶瓷加熱器在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域擁有潛在應(yīng)用價(jià)值。近年來,隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移,我國(guó)集成電路產(chǎn)量持續(xù)增長(zhǎng)。據(jù)國(guó)家工信部統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示,2025年1-7月,我國(guó)集成電路產(chǎn)量達(dá)到2946億塊,同比增長(zhǎng)10.4%。氮化鋁陶瓷加熱器可用于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備中,未來隨著市場(chǎng)需求增長(zhǎng),其行業(yè)發(fā)展空間將進(jìn)一步擴(kuò)展。
全球氮化鋁陶瓷加熱器主要生產(chǎn)企業(yè)包括日本礙子株式會(huì)社(NGK INSULATORS)、日本特殊陶業(yè)株式會(huì)社(Niterra)、日本京瓷株式會(huì)社(KYOCERA)、美國(guó)SemiXicon公司、韓國(guó)MiCo Ceramics公司等。日本礙子為全球較早布局氮化鋁陶瓷加熱器行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道的企業(yè),產(chǎn)品已在半導(dǎo)體設(shè)備中獲得廣泛應(yīng)用。
在本土方面,我國(guó)氮化鋁陶瓷加熱器市場(chǎng)主要參與者包括珂瑪科技、思考電子、華清電子等。珂瑪科技專注于先進(jìn)陶瓷材料零部件的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售,為我國(guó)氮化鋁陶瓷加熱器代表企業(yè)。目前,珂瑪科技正在積極推進(jìn)對(duì)于氮化鋁陶瓷加熱器的產(chǎn)能建設(shè),預(yù)計(jì)到2025年底,其產(chǎn)能將達(dá)到200支/月。據(jù)珂瑪科技企業(yè)半年報(bào)顯示,2025年上半年公司先進(jìn)陶瓷材料零部件實(shí)現(xiàn)營(yíng)收4.8億元。
新思界
行業(yè)分析人士表示,氮化鋁陶瓷加熱器作為半導(dǎo)體設(shè)備核心組件,應(yīng)用前景廣闊,行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。未來隨著我國(guó)集成電路產(chǎn)量持續(xù)增長(zhǎng),氮化鋁陶瓷加熱器市場(chǎng)需求將日益旺盛。在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面,珂瑪科技為我國(guó)氮化鋁陶瓷加熱器代表企業(yè),占據(jù)市場(chǎng)較大份額。
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