臨時鍵合/解鍵合工藝(TBDB)是實現晶圓支撐、拿持的關鍵技術,臨時鍵合膠是在臨時鍵合工藝中,將功能晶圓和晶圓載板臨時黏接在一起的中間層材料。臨時鍵合膠的鍵合與解鍵合都是通過輸入光、熱及外力等外界能量使臨時鍵合膠的黏接性能生效或失效來實現的。
解鍵合工藝是臨時鍵合與永久鍵合的主要區別之一,根據工藝流程不同,解鍵合工藝主要分為熱釋放解鍵合工藝(又分為熱滑移解鍵合和熱分解解鍵合)、化學釋放解鍵合工藝、激光解鍵合工藝、機械釋放解鍵合工藝等。激光解鍵合工藝原理是利用激光源照射激光臨時鍵合膠,激光能量被聚合物黏合劑吸收導致局部溫度升高,鍵合膠被破壞,黏度降低而實現界面分離。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2030年中國激光解鍵合行業應用市場需求及開拓機會研究報告》顯示,激光解鍵合是新一代的臨時解鍵合技術方案,具有室溫操作、無應力、非接觸、能量可控、解鍵合速度快、工藝窗口寬、抗化學性好等優勢,適合于大批量生產,目前在12寸先進封裝廠中,激光解鍵合工藝已實現廣泛應用。
激光解鍵合工藝需使用玻璃作為臨時載板。相比于硅基板,玻璃基板具有低電學損耗、散熱性能優異、光學透明等特點,更容易實現高速傳輸,是下一代先進封裝首選。隨著玻璃基板廣泛應用,激光解鍵合工藝應用空間將隨之擴大。
臨時鍵合膠是臨時鍵合/解鍵合工藝實現的關鍵材料,激光解鍵合臨時鍵合膠技術壁壘高,目前全球供應商較少,主要包括美國Brewer Science公司、深圳化訊半導體材料有限公司(化訊半導體)等。
化訊半導體是國內首家實現紫外激光解鍵合材料量產的企業,激光解鍵合臨時鍵合膠產品包括Samcien® WLP LB203、Samcien®WLP LB208等。化訊半導體在激光解鍵合領域技術領先,2025年3月,化訊半導體宣布完成了新一輪超億元戰略融資,本輪融資由深創投領投,元禾璞華、廈門廈金、元禾厚望等多家投資機構跟投。
新思界
行業分析人士表示,臨時鍵合/解鍵合是先進封裝工藝中的關鍵一環,其中激光解鍵合工藝具有室溫操作、無應力、非接觸、能量可控等多種優點,近年來逐漸成為臨時鍵合/解鍵合工藝主流方案之一。隨著器件晶圓向大尺寸、超薄化、三維集成化等方向發展,激光解鍵合市場空間將進一步擴大。
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