電子級溴化氫是一種用于半導體制造的高純度溴化氫(HBr)。溴化氫是由氫和溴元素組成的無機化合物,氣體為其常見形式,也可溶解在水中形成氫溴酸溶液。作為化工原料,溴化氫在有機合成、橡膠、染料、水處理、石油化工、金屬表面處理、半導體制造等領域有著廣泛應用。
在半導體制造領域,電子級溴化氫可作用氫原子源、清潔劑、蝕刻劑、摻雜劑等。作為蝕刻劑,電子級溴化氫可用于磷摻雜多晶硅、單晶硅、二維半導體的蝕刻工藝中,用于輔助圖案形成和器件制備。
電子級溴化氫的純度、穩定性對半導體器件性能具有重要影響,為保障半導體器件質量,電子級溴化氫通常具有高純度、低金屬離子含量、高穩定性、低揮發性有機物含量等特點。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年電子級溴化氫行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,電子級溴化氫是氟碳類刻蝕氣體的環保替代品,隨著環保要求提升、芯片先進工藝不斷推進,電子級溴化氫市場需求將不斷釋放,預計2030年全球電子級溴化氫市場規模將達到3.0億美元。
在國際市場上,電子級溴化氫供應商主要包括日本昭和電工、法國液化空氣集團、德國林德集團、日本艾迪科(ADEKA)、太陽日酸等,以上企業占據全球電子級溴化氫市場絕大部分份額。
電子級溴化氫生產技術壁壘高,我國市場需求主要從日本進口。但隨著國際貿易摩擦、地緣政治風險加劇,半導體供應鏈安全重要性日益凸顯,在此背景下,我國企業也加快了電子級溴化氫市場布局。
目前我國電子級溴化氫市場布局企業有福建福豆新材料、湖南凱美特氣體、廣東華特氣體、廣鋼氣體、福建久策氣體、金宏氣體、昊華氣體、天津綠菱氣體等。昊華氣體為中國中化控股有限責任公司旗下科技型企業,其“電子級溴化氫及氟甲烷生產線”項目成功入選了《中央企業科技成果應用拓展工程首批項目清單(2024年)》。
新思界
行業分析人士表示,電子級溴化氫為新型等離子刻蝕氣體,在半導體制造中不可或缺,隨著芯片工藝迭代、環保要求提升,電子級溴化氫應用將更加廣泛。全球電子級溴化氫市場集中度較高,我國市場需求依賴進口,但電子級溴化氫國產替代進程正不斷推進,目前國內企業電子級溴化氫規劃產能已達數千噸,隨著相關項目投產,我國電子級溴化氫將實現自主供應。