納米線寬標準物質是用于集成電路中納米線寬測量和校準的標準物質。標準物質（RM）是具有均勻性和確定性的特性量值，用于物質賦值、校準儀器和評價檢測方法或儀器性能的物質。
納米線寬是指晶體管柵極的最小線寬（柵寬）。作為集成電路的關鍵尺寸量值，納米線寬量值的準確性對集成電路工藝先進程度、芯片器件電流/電阻等電特性參數具有重要影響，尤其在納米級集成電路中，線寬量值的準確性影響更大。納米線寬標準物質可滿足集成電路中納米線寬的原子級準確度測量要求，應用空間廣闊。
我國標準物質研制起步晚于歐美國家，目前在納米級標準物質研制方面，與國際先進水平仍存在一定差距。國外納米級標準物質研制機構及企業有美國標準化技術研究院（NIST）、美國VLSI公司、Bangs Laboratories公司、德國Dr.E公司等，其中美國VLSI公司研制的線寬結構量值在全球集成電路中處于壟斷地位，不確定度水平優于1.0nm。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2028年納米線寬標準物質行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，截止至目前，我國已批準建立國家標準物質累計超1.7萬項，但其中納米級標準物質不足百項，占比極低，難以滿足快速發展的納米制造需求。我國納米級標準物質研制以科研機構為主，包括中國計量科學研究院、國家納米科學中心、同濟大學等，其中中國計量科學研究院在國內標準物質研制發展中具有示范性的作用。
2024年9月，國家市場監管總局批準建立由中國計量科學研究院研制的平面結構納米線寬標準物質和立體結構納米線寬標準物質，這是我國首次建立基于硅晶格常數溯源的集成電路納米線寬標準物質。該納米線寬標準物質是以硅晶格{220}方向尺寸（0.192nm）為基礎，不確定度水平處在0.32nm-1.3nm之間，填補了國內市場空白。
《亞微米及納米級顆粒粒度標準物質的研制》（JJF2060-2023）于2019年立項，2023年6月30日發布，2023年12月30日正式實施，其為納米線寬標準物質的高質量研制提供了標準依據。
新思界
行業分析人士表示，隨著微納米技術、原子級制造技術的發展和應用，集成電路制造正向極微觀尺度邁進，市場對納米線寬標準物質的需求空間隨之擴大。納米線寬標準物質研制難度大，為推動集成電路制造業向更高層次邁進，我國將繼續加強納米線寬標準物質的研發與應用，未來納米線寬標準物質獲批數量有望持續增加。
關鍵字：
