諧振壓力傳感器，又稱頻率式傳感器，是指一種利用諧振元件把被測壓力轉換成頻率信號的設備，主要由諧振器、質量塊、支撐座、壓電陶瓷等部分構成，屬于壓力傳感器的細分品類之一。諧振壓力傳感器工作原理為在壓力作用下，質量塊、支撐座的位置和壓電陶瓷片的強度發(fā)生改變，從而使諧振器固有頻率發(fā)生改變，再通過計算諧振頻率變化量來確定壓力大小的過程。
根據(jù)工作原理不同，諧振壓力傳感器可分為機械式諧振壓力傳感器、原子式諧振壓力傳感器、電式諧振壓力傳感器。其中機械式諧振壓力傳感器是目前諧振壓力傳感器市場應用最廣、發(fā)展最快的一類產品，其核心元件為振子。根據(jù)振子結構不同，機械式諧振壓力傳感器還可細分為振弦式、振梁式、振膜式、振筒式機械諧振壓力傳感器等；根據(jù)振子材料不同，其還可細分為金屬、硅微、石英晶體機械諧振壓力傳感器等。
全球范圍內，布局諧振壓力傳感器市場的企業(yè)主要有英國德魯克、日本橫河電機、德國博世、德國西門子、美國Paroscientific、美國霍尼韋爾等國際企業(yè)以及西安思微傳感科技、西安高科電氣科技、西安勵德微系統(tǒng)科技、深圳五湖智聯(lián)實業(yè)、深圳華科電子、無錫萊斯能特科技、嘉興恩湃電子、重慶宸碩測控技術、成都奧森泰科技、山東中科思爾科技等。
諧振壓力傳感器技術壁壘較高，目前全球高端市場仍由起步時間較早的國際領先企業(yè)占據(jù)主導，我國企業(yè)主要集中在中低端市場。但近年來，在本土企業(yè)不斷積累先進經驗與提升技術水平背景下，我國諧振壓力傳感器研發(fā)進程持續(xù)加快，先進成果不斷涌現(xiàn)。
例如，中電科研發(fā)出高精度諧振壓力傳感器，可用于戰(zhàn)斗機的飛行大氣參數(shù)監(jiān)測系統(tǒng)；西安思微傳感科技研發(fā)出高精度硅諧振壓力傳感器，可用于地面壓力控制器、航空大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)、氣象測量設備，此外，國內還有嘉興恩湃電子、成都凱天電子等企業(yè)有相關高精度諧振壓力傳感器產品問世。新思界
行業(yè)分析人士表示，目前我國諧振壓力傳感器產品正朝高精度方向不斷升級，本土企業(yè)正加快進軍全球高端市場，未來行業(yè)發(fā)展?jié)摿薮蟆?/div>
