硅基OLED又稱Micro OLED，是以單晶硅作為驅動背板而制作的集成式驅動背板OLED顯示器件，硅基OLED主要應用于近眼式顯示和投影顯示系統，具有分辨率高、刷新率高、體積小、對比度高、功耗低、性能穩定等特點。
硅基OLED可與各種穿戴設備集成，通過光學系統放大微型顯示器上的圖像，在觀看者眼中呈現大屏幕圖像，實現VR、AR等智能可穿戴設備不同效果。根據新思界產業研究中心發布的
《2022-2027年中國硅基OLED行業應用市場需求及開拓機會研究報告》顯示，2017-2021年，中國硅基OLED行業市場規模保持快速增長趨勢。未來，隨著5G技術的全面普及，硅基OLED在沉浸式娛樂、教育、醫療等行業將有望得到較大發展，行業市場規模有望進一步擴張。
技術方面，硅基OLED具體的工藝流程可以分為5個部分：驅動背板制作：通過半導體工藝制作硅基OLED所需的CMOS背板，再運用物理氣相沉積、化學氣相沉積、黃光曝光顯影工藝、刻蝕工藝等工藝制作陽極反射層和陽極限定層。蒸鍍工藝：主要包括基板清洗、有機材料蒸鍍以及陰極材料蒸鍍。封裝工藝：首先通過PECVD和ALD設備制作硅基 OLED 薄膜封裝；再通過黃光旋涂有機彩色濾光材料，進行曝光顯影制作硅基 OLED 所需的三基色（R、G、B）圖形，完成彩色化工藝。屏體工藝：主要包括屏體大片的切割、清洗，以及電測與外觀檢測等步驟，檢驗合格后入庫。模組工藝：通過清洗、點膠貼合、切割、外觀檢測、邦定、涂膠、外觀檢測和測試老練，合格后包裝入庫。
企業方面，硅基OLED行業技術和資金壁壘較高，行業內企業主要有eMagin公司、MICROOLED公司、SONY公司、Kopin公司、奧雷德、國兆光電、創視界光電、合肥視涯等幾家企業，其中SONY憑借其在消費電子領域的優勢地位推出了用于自身品牌的EVF及HMD，而eMagin、MICROOLED、奧雷德、國兆光電等在軍事領域占有一席之地，滿足軍工市場瞄準、觀察系統需求。
新思界
產業研究員認為，硅基OLED屬于平板顯示行業的前沿領域，由于技術難度高（存在“微型顯示器亮度低”、“可靠性差”、“易出現光串擾現象”三種瓶頸）、工藝復雜（工藝流程繁瑣）、實現高良率量產耗時較長，且面臨著與同行業其他企業的市場競爭，所以硅基OLED行業新進入企業數量和新建項目較少，現有項目和改擴建項目主要為原有企業產能擴張。
