半色調掩膜版（Half-tone Mask，縮寫為 HTM）是利用具有一定光學透過率的膜來實現部分透光功能的掩膜版，其作為先進的掩膜版材料，主要應用于TFT面板的生產。傳統掩膜版在使用時對于特定波長的光只呈現透光與不透光兩種效果。而半色調掩膜版（HTM）則是在玻璃基板上經過多次濺射沉積形成半透膜和遮光膜兩個膜層，然后通過兩次光刻制程形成包含全透光、完全不透光、和部分透光效果的圖形結構，其圖形精度的各項指標均高于傳統掩膜版。
近年來，顯示技術不斷發展，柔性化、大尺寸、高精細、無邊框成為顯示技術的重要發展方向，傳統掩膜版技術難以滿足日益發展的顯示面板工藝需求，具備更高精度及使用效率的半色調掩膜版受到下游顯示面板廠商的青睞，國內主要顯示面板廠商如華星光電、京東方、中電熊貓等G5/ G6/ G8.5/ G11等生產線上導入半色調掩膜版及相關工藝技術，促使中國半色調掩膜版市場呈現快速增長態勢。未來，伴隨著中國顯示面板產業的發展及相關工藝的進步，中國半色調掩膜版市場規模將繼續擴大，據新思界發布的《
2022-2027年中國半色調掩膜版行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，預計2025年，中國半色調掩膜版市場需求將達到千萬元級別。
半色調掩膜版屬于高技術行業，加之其用途單一，市場容量相對有限，導致該行業處于壟斷競爭之中，全球僅有日本、韓國的數家企業具備產品研發及生產能力。近年來，隨著中國顯示面板行業的發展，其各類掩膜版需求急劇上升，特別是面板行業的高端化發展，使得主流面板廠商不但尋求品質更高、工藝技術更為先進的掩膜版，半色調掩膜版作為新興的具備獨特工藝優勢的掩膜版產品，其受到國內各大面板廠商的關注。以路維光電為代表的本土掩膜版企業為滿足面板廠商需求，加大技術研發投入，在國內首先成功開發出半色調掩膜版。目前，路維光電擁有G2.5-G11 的半色調掩膜版生產能力，產品已經進入京東方、中電熊貓等供應體系。
新思界
分析人士認為，在國家政策的推動及市場需求刺激下，中國顯示面板各大工藝環節積極推進國產替代。半色調掩膜版作為未來顯示掩膜版的重要發展方向，其國產替代已是大勢所趨，以路維光電為代表的中國本土掩膜版行業將從中受益。
