分子束外延系統(tǒng)是一種用于物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器。分子束外延（MBE）是一種新的晶體增長技術(shù)，是在超高真空環(huán)境下，使具有一定熱能的一種或多種分子（原子）束流噴射到晶體襯底，在襯底表面發(fā)生反應(yīng)的過程。作為新外延制膜方法，分子束外延具有束流強(qiáng)度易控制、襯底溫度低、膜層生長速率慢、可實現(xiàn)選擇性外延生長等優(yōu)勢。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2022-2026年中國分子束外延系統(tǒng)行業(yè)市場行情監(jiān)測及未來發(fā)展前景研究報告》顯示，受新冠肺炎疫情影響，歐美地區(qū)企業(yè)開工率下滑，分子束外延系統(tǒng)市場規(guī)模隨之下降，2020年市場規(guī)模在81.5百萬美元左右。在全球經(jīng)濟(jì)復(fù)蘇背景下，預(yù)計2022-2026年，分子束外延系統(tǒng)市場將處于增長趨勢，并將于2026年達(dá)到110.0百萬美元。
分子束外延系統(tǒng)是半導(dǎo)體、光伏新材料、科學(xué)研發(fā)領(lǐng)域重要設(shè)備之一，近年來，隨著半導(dǎo)體、新材料等行業(yè)發(fā)展，分子束外延系統(tǒng)市場需求不斷釋放。在全球范圍內(nèi)，分子束外延系統(tǒng)市場主要集中在歐洲、北美、日本等地區(qū)，其中歐洲是全球最大的分子束外延系統(tǒng)生產(chǎn)地。近年來，隨著新興經(jīng)濟(jì)體對基礎(chǔ)研究重視度提升，印度、中國以及東南亞國家對分子束外延系統(tǒng)的需求增長較快，以上地區(qū)具有較大市場潛力。
分子束外延系統(tǒng)市場集中度較高，頭部企業(yè)有美國Veeco、芬蘭DCA、法國Riber、日本Pascal、荷蘭TSST等。我國分子束外延系統(tǒng)研究起步較晚，且早期由于國外技術(shù)封鎖，分子束外延系統(tǒng)研發(fā)進(jìn)程較緩慢，目前國內(nèi)從事研發(fā)和生產(chǎn)分子束外延系統(tǒng)的企業(yè)或機(jī)構(gòu)有中科院半導(dǎo)體所、上海冶金所、沈陽科儀、國成儀器等。
根據(jù)類型不同，分子束外延系統(tǒng)可分為普通型、激光型，其中普通型分子束外延系統(tǒng)是市場主流產(chǎn)品，市場占比超過七成。激光分子束外延系統(tǒng)是基于傳統(tǒng)的分子束外延系統(tǒng)和脈沖激光沉積系統(tǒng)（PLD）發(fā)展起來的，其屬于高端薄膜制備設(shè)備，未來應(yīng)用前景更廣闊。
新思界
行業(yè)分析人士表示，分子束外延系統(tǒng)是半導(dǎo)體、新材料、科研領(lǐng)域重要設(shè)備之一，我國具有分子束外延系統(tǒng)生產(chǎn)能力的企業(yè)較少，市場需求仍依賴進(jìn)口，且受技術(shù)、研發(fā)水平限制，目前國產(chǎn)分子束外延系統(tǒng)在可靠性、穩(wěn)定性、配套設(shè)備等方面與國外品牌仍存在一定差距，國內(nèi)企業(yè)亟需提升產(chǎn)品價值以搶占市場。
