飛秒激光加工系統,指利用飛秒級超短脈沖激光實現精密微納加工的設備。飛秒激光加工系統具備可實現非線性加工、加工精度高、熱影響區極小、材料適應性廣等優勢,在航空航天、半導體制造、科學研究、生物醫療、光纖傳感等眾多領域擁有廣闊應用前景。
飛秒激光加工系統主要由功率放大模塊、飛秒激光光源、精密運動與掃描系統、諧波發生器、輔助模塊、控制系統等組件構成。飛秒激光光源為飛秒激光加工系統核心組件,可利用飛秒光纖激光器發射飛秒級脈沖種子光。近年來,隨著國家政策支持以及本土企業持續發力,我國飛秒光纖激光器市場國產化進程不斷加快,這將為飛秒激光加工系統行業發展提供有利條件。
根據新思界產業研究中心發布的《
2026-2031年飛秒激光加工系統行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,飛秒激光加工系統在眾多領域擁有廣闊應用前景,主要包括航空航天、半導體制造、科學研究、生物醫療、光纖傳感等。在航空航天領域,飛秒激光加工系統可用于發動機渦輪葉片氣膜孔加工過程中;在半導體制造領域,其可用于晶圓劃片環節;在科學研究領域,其可用于新材料開發過程中;在生物醫療領域,其可用于加工微流控芯片以及生物組織切片。
全球飛秒激光加工系統市場主要參與者包括美國UpTek Solutions公司、美國相干公司(Coherent)、瑞士Posalux公司、立陶宛Workshop of Photonics公司等。美國相干公司為全球較早布局飛秒激光加工系統行業研發及生產賽道的企業,其推出的ChameleonVision-S/LegendEliteFHE-1K飛秒激光加工系統已在材料科學領域獲得廣泛應用。
在本土方面,受技術壁壘高、生產成本高等因素限制,我國飛秒激光加工系統市場國產化程度極低。近年來,我國企業及相關科研機構不斷加大對于飛秒激光加工系統的研究,已取得眾多新進展。2026年1月,哈爾濱工業大學鄭州高等研究院成功研制出200W三波段飛秒激光加工系統,加工精度達到微米級別,未來有望在半導體制造領域獲得應用。
新思界
行業分析人士表示,飛秒激光加工系統作為一種高精度激光系統,在眾多領域有所應用。未來隨著市場需求逐漸釋放,飛秒激光加工系統行業發展空間將得到進一步擴展。目前,我國飛秒激光加工系統研發熱情持續高漲,未來其技術水平將不斷提升。
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