真空計(jì)，又稱真空表，是測(cè)量真空度或氣壓的儀器，根據(jù)原理不同分為電容薄膜真空計(jì)、波爾登真空計(jì)、冷陰極離子真空計(jì)、皮拉尼型真空計(jì)、熱電偶真空計(jì)等。電容薄膜真空計(jì)，是利用隔膜在氣體分子作用下發(fā)生變形而測(cè)量壓強(qiáng)的真空計(jì)。
電容薄膜真空計(jì)具有測(cè)量精密度高、響應(yīng)速度快、高穩(wěn)定性、再現(xiàn)性與重復(fù)性好等特點(diǎn)，在半導(dǎo)體、光伏、航空航天等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，電容薄膜真空計(jì)主要應(yīng)用于刻蝕、薄膜沉積等工藝環(huán)節(jié)；在光伏領(lǐng)域，電容薄膜真空計(jì)主要用于光伏電池生產(chǎn)環(huán)節(jié)；在航空航天領(lǐng)域，電容薄膜真空計(jì)可應(yīng)用于航天器、火箭等的真空測(cè)試和模擬環(huán)境環(huán)節(jié)。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025年中國(guó)電容薄膜真空計(jì)市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報(bào)告》顯示，隨著技術(shù)進(jìn)步、下游行業(yè)持續(xù)發(fā)展，電容薄膜真空計(jì)市場(chǎng)規(guī)模穩(wěn)步擴(kuò)大。預(yù)計(jì)2031年全球電容薄膜真空計(jì)市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到24億元，預(yù)測(cè)期間內(nèi)（2025-2031年）其市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)率（CAGR）將為2.8%。
國(guó)外電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)包括Granville-Phillips、MKS（MKS Instruments）、英福康（INFICON）、Canon ANELVA等。我國(guó)參與電容薄膜真空計(jì)研究、生產(chǎn)的機(jī)構(gòu)和企業(yè)包括航天科技集團(tuán)五院510所、上海振太儀表有限公司、浙江科蘊(yùn)電子科技有限公司、深圳市萬(wàn)德泉科技有限公司、季華實(shí)驗(yàn)室、佛儀科技（佛山）有限公司、上海梅科伍德電子科技有限公司等。
上海振太儀表有限公司是除MKS與Inficon外，少數(shù)具備核心技術(shù)與自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，擁有完整電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)線的企業(yè)。2024年，上海梅科伍德電子科技有限公司研發(fā)的“電容薄膜真空計(jì)10 Torr”項(xiàng)目，榮獲第五屆上海真空科技進(jìn)步獎(jiǎng)獲獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。
近年來(lái)，我國(guó)發(fā)布多項(xiàng)電容薄膜真空計(jì)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，有利于該行業(yè)高品質(zhì)發(fā)展，如國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《真空技術(shù) 真空計(jì) 電容薄膜真空計(jì)的規(guī)范、校準(zhǔn)和測(cè)量不確定度（GB/T 43916-2024）》、團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)《半導(dǎo)體裝備用絕壓電容薄膜真空計(jì)比對(duì)法測(cè)試規(guī)范（T/GVS 005—2022）》《電容薄膜真空計(jì)（T/CEPEA 0201—2023）》等。
新思界
行業(yè)分析人士表示，電容薄膜真空計(jì)是真空計(jì)行業(yè)主要細(xì)分產(chǎn)品之一，在半導(dǎo)體、光伏、航空航天等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。在下游行業(yè)持續(xù)增長(zhǎng)、企業(yè)不斷取得技術(shù)突破利好下，我國(guó)電容薄膜真空計(jì)行業(yè)發(fā)展空間較大，并且高端化發(fā)展進(jìn)程有望加快。
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電容薄膜真空計(jì)為真空計(jì)行業(yè)細(xì)分產(chǎn)品 市場(chǎng)
