六氯乙硅烷（HCDS），化學式為Si2Cl6，是一種乙硅烷的六氯取代物。六氯乙硅烷外觀呈無色液體，具備化學穩定性好、揮發性低、薄膜沉積性佳等特點，在半導體制造、光纖制造、光伏發電等眾多領域需求旺盛。
近年來，為規范市場發展，我國有關部門已出臺多項六氯乙硅烷相關行業標準及團體標準，主要包括《GB/T 42720-2023 電子特氣 六氯乙硅烷》、《YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法》、《T/CNIA 0114—2021 改良西門子法多晶硅副產品 六氯乙硅烷》等。未來隨著行業標準不斷完善，我國六氯乙硅烷質量將有所提升。
提純為六氯乙硅烷制備關鍵環節，其主要提純方法包括萃取精餾法、吸附聯合精餾法、反應精餾法以及精餾提純法等。萃取精餾法指以氯硅烷渣漿為主要原材料，加入正十三烷等萃取劑，經萃取工藝、干燥分離、精餾提純等流程制得成品；吸附聯合精餾法可用于制備超高純度六氯乙硅烷；反應精餾法指以硅粉、四氯化硅（SiCl₄）為主要原材料，經加熱、充分反應、冷卻、過濾以及蒸餾等流程制得成品。
六氯乙硅烷在半導體制造、光纖制造、光伏發電等眾多領域需求旺盛。在半導體制造領域，六氯乙硅烷作為電子特氣，可用于集成電路化學氣相沉積（CVD）工藝中。近年來，隨著我國半導體產業發展速度加快，集成電路產量持續增長。據國家工信部統計數據顯示，2025年1-7月，我國集成電路產量達到2946億塊，同比增長10.4%。根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2029年六氯乙硅烷（HCDS）行業深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，隨著下游行業發展速度加快，我國六氯乙硅烷市場規模不斷增長，2024年達到近25億美元。
全球六氯乙硅烷主要生產企業包括德國瓦克化學公司、德國贏創工業集團、法國液化空氣集團等。在本土方面，南大光電、金宏氣體、華特電子、正帆科技、興洋科技、中硅高科、新硅科技等為我國六氯乙硅烷市場主要參與者。
新思界
行業分析人士表示，六氯乙硅烷在半導體制造領域應用較多，未來伴隨市場需求逐漸釋放，其行業發展空間將得到進一步擴展。與海外發達國家相比，我國六氯乙硅烷行業起步較晚，但發展勢頭迅猛，已有多家企業具備其規模化生產實力。未來隨著技術進步，我國六氯乙硅烷行業景氣度將進一步提升。
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