四氟化硅，化學式為SiF4，是一種無機化合物。四氟化硅外觀呈無色氣體，含刺激性氣味，可溶于硝酸、乙醇和氫氟酸，不溶于乙醚。四氟化硅具備腐蝕性強、反應活性高等特點，在電子電氣、光伏發電、化工合成以及建筑工程等領域應用較多。
四氟化硅制備方法包括氟硅酸鹽熱解法、硫酸法、含Si源物質與含F基團物質合成法、氟硅酸法等。氟硅酸鹽熱解法指以金屬氟硅酸鹽為主要原材料，經過高溫分解制得成品，該法具備綠色環保、生產成本低、成品純度高等優勢；硫酸法可細分為氟硅酸鹽-濃硫酸法、氟硅酸-硫酸法以及括螢石-濃硫酸法等；氟硅酸法具備工藝流程簡單、反應穩定性高、成品質量好等優勢，適合進行連續化生產。
四氟化硅應用范圍較廣，主要包括電子電氣、光伏發電、化工合成以及建筑工程等。在電子電氣領域，高純四氟化硅作為電子特氣，可用于芯片等離子刻蝕工藝、氮化硅薄膜沉積工藝中。在光伏發電領域，四氟化硅可用于制備光伏薄膜，產品能有效提升光伏電池的光電轉換效率；在化工合成領域，其可用于二氧化硅、氟化鉛以及氟硅酸制備過程中；在建筑工程領域，其作為硬化劑，可用于制造人造大理石以及水泥。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2029年全球及中國四氟化硅（SiF4）行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，電子電氣領域為四氟化硅主要需求端。近年來，隨著全球半導體產業向我國大陸轉移，我國芯片產量持續增長。據國家工信部統計數據顯示，2024年我國芯片產量達到4514億塊，同比增長22.2%。未來隨著下游行業發展速度加快，我國四氟化硅市場規模將進一步增長。
全球四氟化硅主要生產企業包括美國空氣產品、美國聯合化學、日本三井化學、日本關東電化等。在本土方面，我國四氟化硅市場主要參與者包括中船特氣、多氟多、華特氣體、威斯特氣體等。威斯特氣體正在推進年產41噸電子新材料項目建設，該項目包含四氟化硅、三氟化磷、五氟化銻等產品。
新思界
行業分析人士表示，四氟化硅性能優異，在眾多領域需求旺盛。未來隨著我國半導體行業發展速度加快，高純四氟化硅市場空間將得到進一步擴展。受市場前景吸引，我國已有多家企業布局四氟化硅行業研發及生產賽道，未來其產能將進一步擴張。
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