超純氬氣是重要高純電子氣體 我國(guó)布局企業(yè)正在增多

　　超純氬氣，通常是指純度達(dá)到99.9999%（6N）級(jí)別及以上的超高純度氬氣，屬于高純電子氣體。

 

　　氬氣，化學(xué)式Ar，惰性氣體、稀有氣體，無(wú)色無(wú)味無(wú)毒，可在燈泡中、氬弧焊中、金屬鑄造過(guò)程中用作保護(hù)氣，目的是防止金屬氧化、延長(zhǎng)燈絲壽命。在稀有氣體中，氬氣是空氣中含量最高的氣體。氬氣通常可以采用空分法進(jìn)行制備，高純度的氬氣是將工業(yè)氬氣進(jìn)行精餾提純得到。

 

　　根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2025年中國(guó)超純氬氣市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報(bào)告》顯示，超純氬氣可以用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，在半導(dǎo)體材料、半導(dǎo)體器件、超大規(guī)模集成電路等制造過(guò)程中能夠發(fā)揮重要作用。超純氬氣可以隔絕空氣中的氧氣、水分、雜質(zhì)等，營(yíng)造無(wú)氧無(wú)塵環(huán)境，防止真空蒸發(fā)鍍膜、化學(xué)氣相沉積制膜時(shí)膜材被污染，防止半導(dǎo)體光刻、蝕刻等環(huán)節(jié)因雜質(zhì)導(dǎo)致器件品質(zhì)、良率下降，避免高溫加工時(shí)電子元器件被氧化。

 

　　我國(guó)超純氬氣技術(shù)研究機(jī)構(gòu)與企業(yè)主要有南京特種氣體廠有限公司、中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、昆明物理研究所等。近年來(lái)，我國(guó)超純氬氣相關(guān)專利還在增多，例如江陰市金馬氣體有限公司的“一種超純氬氣生產(chǎn)系統(tǒng)及其方法”、華誼高新純化技術(shù)（大連）有限公司的“一種氮?dú)猓瑲鍤猓�氧氣超純純化系統(tǒng)”等。

 

　　在海外市場(chǎng)中，超純氬氣布局企業(yè)主要有林德氣體、液化空氣、空氣化工等。在我國(guó)市場(chǎng)中，超純氬氣布局企業(yè)主要有杭氧集團(tuán)股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司等，例如杭氧集團(tuán)股份有限公司可以提供純度5N、6N級(jí)別的超高純氬氣產(chǎn)品。

 

　　2025年9月，滁州昶旭電子材料有限公司高純電子氣體新建項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告書(shū)批前公示，其中包括新增超純氬氣40噸/年，規(guī)格≥99.9999%。2025年10月，安徽宏仁氣體有限公司空分及高純特種氣體項(xiàng)目發(fā)布公示，項(xiàng)目建成后，將形成年產(chǎn)4050噸液氬、44.8萬(wàn)立方米超純氬的生產(chǎn)規(guī)模。

 

　　新思界行業(yè)分析人士表示，受人工智能、汽車(chē)產(chǎn)業(yè)發(fā)展推動(dòng)，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)。2024年，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模超過(guò)6300億美元，保持快速上升趨勢(shì)，預(yù)計(jì)2025年，全球半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模同比增速將超過(guò)11%。而中國(guó)是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)，在此背景下，超純氬氣市場(chǎng)空間不斷增大，行業(yè)發(fā)展前景廣闊。

 

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