三氟化氮（NF3）是一種含氟特種氣體，也是目前電子特氣中用量最大的品種之一，具有常溫下化學(xué)惰性、高溫下性質(zhì)活潑、易于處理、反應(yīng)速度快等特點。
三氟化氮可以用作等離子蝕刻氣體、反應(yīng)腔清洗劑、高能化學(xué)激光器的氟源等，適用于半導(dǎo)體芯片、顯示面板、光纖、太陽能電池、金屬加工等領(lǐng)域。作為等離子蝕刻氣體，三氟化氮尤其適用于厚度小于1.5um集成電路材料的蝕刻。隨著電子工業(yè)大規(guī)模發(fā)展，三氟化氮市場需求將不斷增加。
三氟化氮工業(yè)化生產(chǎn)路線主要有化學(xué)合成法、電解法兩種，其中化學(xué)合成法具有設(shè)備復(fù)雜、雜質(zhì)含量多、安全性高等特點，電解法主要是電解熔融NH4F·xHF，具有成品收率高、技術(shù)成熟度高、容易污染環(huán)境等特點。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025-2029年三氟化氮（NF3）行業(yè)深度市場調(diào)研及投資策略建議報告》顯示，作為半導(dǎo)體制造中用量最大的電子特氣，三氟化氮市場呈全球化競爭態(tài)勢，在國際市場上，三氟化氮主要生產(chǎn)廠商包括韓國SK Specialty、韓國曉星、日本關(guān)東電化、德國默克、日本三井化學(xué)等，國外企業(yè)以電解法為主，其中韓國SK Specialty是全球最大的三氟化氮供應(yīng)商，年產(chǎn)能達1.3萬噸以上。
我國涉及三氟化氮業(yè)務(wù)的企業(yè)包括中船特氣、南大光電、昊華科技、廣鋼氣體、凱美特氣等。國產(chǎn)三氟化氮在技術(shù)純度方面與進口產(chǎn)品尚存在一定差距，其中中船特氣三氟化氮、六氟化鎢生產(chǎn)能力位居國內(nèi)首位，三氟化氮產(chǎn)品純度可達5N級（99.999%）。
目前全球高純度三氟化氮尚存在供給缺口，尤其是5N-6N級三氟化氮。2025年8月，日本關(guān)東電化澀川工廠發(fā)生爆炸，短期內(nèi)三氟化氮產(chǎn)能將無法恢復(fù)生產(chǎn)，日本三井化學(xué)三氟化氮產(chǎn)能計劃于2026年退出市場。日本關(guān)東電化產(chǎn)能受限+日本三井化學(xué)退出，將進一步加大高純度三氟化氮供給缺口。
目前國內(nèi)多家三氟化氮企業(yè)有擴產(chǎn)計劃，如中船特氣計劃在2026年新增3000噸產(chǎn)能，貴州泉鑫化學(xué)科技有限公司年產(chǎn)3880噸電子特氣建設(shè)項目于2025年7月份開工，建成后年產(chǎn)三氟化氮3200噸。
新思界
行業(yè)分析人士表示，三氟化氮是半導(dǎo)體制造中用量最大的電子特氣，市場需求旺盛。近年來，受益于國家政策支持、技術(shù)進步，我國企業(yè)在高純度三氟化氮領(lǐng)域持續(xù)突破，目前我國企業(yè)已具備三氟化氮供給缺口填補能力，隨著產(chǎn)能擴張、客戶認證持續(xù)推進，國產(chǎn)三氟化氮有望加速切入全球供應(yīng)鏈。
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