MEMS熱導式氣敏傳感器是一種基于MEMS技術和熱導原理的氣體檢測設備，主要用于測量和識別特定氣體的存在和濃度。
氣敏傳感器技術路線多樣，根據工作原理不同，分為光學型、壓電型、電學型，其中電學型氣敏傳感器又分為半導體式、電化學式、熱導式、催化燃燒式。熱導式氣敏傳感器與MEMS的兼容性高，兩者結合可以制備出高精度、小體積、高靈敏度、低成本、長壽命、寬量程、易于大規模部署的MEMS熱導式氣敏傳感器。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年MEMS熱導式氣敏傳感器行業市場供需現狀及行業經營指標深度調查分析報告》顯示，MEMS熱導式氣敏傳感器可用于氫氣、甲烷、二氧化碳、硫化氫、六氟化硫、氦氣等氣體的監測，在氫能、天然氣開采、環境監測、化工、醫療、半導體制造、污水處理、電力設備、航天航空等領域具有廣闊應用空間。在氫能領域，MEMS熱導式氣敏傳感器可用于氫氣的安全監測，保障氫能產業鏈安全運行。
在國際市場上，MEMS熱導式氣敏傳感器相關企業包括德國HLP公司、瑞士Neroxis公司、荷蘭Xensor公司等。MEMS熱導式氣敏傳感器基于MEMS技術制成，MEMS技術即微機械加工技術，我國MEMS技術研究起步較晚，MEMS傳感器精度、敏感度等性能還處在追趕國外水平的階段，高端MEMS傳感器進口依賴度較高，尤其是高端MEMS傳感器芯片。
我國擁有MEMS技術并將其應用在熱導式氣敏傳感器的企業較少，包括香港中華煤氣集團能源研究院氫能研發中心、廣東增敏科技有限公司（增敏科技）、蘇州芯鎂信電子科技有限公司等。高端MEMS氣敏傳感器市場長期被西方國家壟斷，國內企業面臨著技術封鎖和高昂的進口成本。
增敏科技自主研發的工業級第三代熱導式MEMS數字氣敏傳感器于2024年投產，性能居于國際同行業領先水平，填補了國內在該領域的空白。增敏科技生產中心設在廣州增城，搭建了年產100萬顆MEMS氣敏傳感器芯片的生產線，擴產后可達到500萬顆/年。
新思界
行業分析人士表示，基于MEMS技術和熱導原理的MEMS熱導式氣敏傳感器具有體積小、精度高、量程寬、成本低等優勢，在氫能、環保、半導體、石油化工等領域應用空間廣闊。MEMS熱導式氣敏傳感器技術壁壘較高，目前我國已實現其國產化生產供應，隨著相關技術發展、生產規模擴大，MEMS熱導式氣敏傳感器國產化率將進一步提升。
