微機(jī)械薄膜變形鏡（MMDM）又稱微機(jī)電系統(tǒng)變形鏡、MEMS變形鏡，是采用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）工藝制成的變形鏡（DM）。根據(jù)表面形狀不同，微機(jī)械薄膜變形鏡可分為連續(xù)表面變形鏡、分立表面變形鏡兩種，其中分立表面變形鏡又分為piston型、pistion-tip/tilt型。
微機(jī)械薄膜變形鏡主要由鏡面層、電極層、基底層三部分組成。鏡面層通常由金屬層、電介質(zhì)層、氮化硅層等多層薄膜組成，薄膜厚度一般在0.5-10微米之間，鏡面材料包括多晶硅、單晶硅、金屬、薄膜等。電極層上分布多個(gè)電極，施加不同的電壓后，電極層與鏡面層之間產(chǎn)生電勢差，利用靜電力吸附薄膜，使之產(chǎn)生形變。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2024-2028中國微機(jī)械薄膜變形鏡（MMDM）行業(yè)市場現(xiàn)狀綜合研究及投資前景預(yù)測報(bào)告》顯示，微機(jī)械薄膜變形鏡含有多個(gè)微小校正單元，能夠?qū)崟r(shí)、動(dòng)態(tài)校正激光、天文望遠(yuǎn)鏡、光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)測試、眼科診斷、視網(wǎng)膜掃描顯示等各種領(lǐng)域常見的波前畸變，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像。
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是微機(jī)械薄膜變形鏡的基礎(chǔ)制造工藝。MEMS技術(shù)是上世紀(jì)八十年代發(fā)展起來的一種多學(xué)科交叉技術(shù)，具有制造工藝獨(dú)特、體積小、易于高密度集成等特點(diǎn)。21世紀(jì)以來，MEMS技術(shù)發(fā)展迅速，在光學(xué)、電子、汽車、通信、醫(yī)療等領(lǐng)域應(yīng)用也越來越深入。
近年來，國內(nèi)外研究機(jī)構(gòu)在微機(jī)械薄膜變形鏡領(lǐng)域均取得了良好成果，包括美國Boston大學(xué)精密工程研究實(shí)驗(yàn)室、美國空軍研究實(shí)驗(yàn)室、華中科技大學(xué)、南京航空航天大學(xué)、中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所等。
在商業(yè)化方面，全球微機(jī)械薄膜變形鏡供應(yīng)商包括波士頓微機(jī)械公司、荷蘭OKO公司、法國Alpao公司、艾斯自適應(yīng)光學(xué)公司、得州儀器、貝克自適應(yīng)光學(xué)公司等。荷蘭OKO公司創(chuàng)始人為微機(jī)械薄膜變形鏡發(fā)明者，公司產(chǎn)品包括微機(jī)械薄膜變形鏡、PDM變形鏡、波前傳感器（WFS）、波前分析控制軟件等，其新產(chǎn)品96通道三合一微機(jī)械薄膜變形鏡具有小體積、高速率、多通道等特點(diǎn)。
新思界
行業(yè)分析人士表示，微機(jī)械薄膜變形鏡具有體積小、易于批量生產(chǎn)、寬帶寬等特點(diǎn)，在自適應(yīng)光學(xué)、激光加工、光學(xué)測試、醫(yī)學(xué)成像等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。歐美企業(yè)在微機(jī)械薄膜變形鏡技術(shù)研究、生產(chǎn)制造等方面處于全球領(lǐng)先水平，我國與之相比還有較大差距，產(chǎn)品需求仍依賴進(jìn)口。
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波前傳感器應(yīng)用廣泛 Shack-Hartman波前傳感
