六氯乙硅烷又稱六氯二硅烷、六氯化二硅，簡稱HCDS，是一種氯硅烷，外觀為無色透明液體狀，不溶于醇類、強堿。按純度不同，六氯乙硅烷分為高純度級別、普通純度級別，高純度級別六氯乙硅烷的純度>99.5%，主要用在半導體、太陽能等領域；普通純度級別六氯乙硅烷純度為95%-98%，主要用于工業生產或提純。
六氯乙硅烷具有性能穩定、揮發性低、濕度敏感、沉積溫度低、沉積壓力低等特點，在半導體、光電材料、光纖、航空航天、太陽能等領域具有廣泛應用，其中半導體是主要應用領域。在半導體領域，六氯乙硅烷主要采用化學氣相沉積法（CVD）、原子層沉積法（ALD）用于氧化硅薄膜、氮化硅薄膜的制備，由其制備的薄膜具有優良的絕緣性、抗腐蝕性和兼容性。近年來，受益于半導體產業的發展，電子級六氯乙硅烷市場需求快速釋放。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年中國電子級六氯乙硅烷（電子級HCDS）行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，2023年全球六氯乙硅烷市場規模達2.0億美元以上，預計2024-2028年，全球六氯乙硅烷市場將以6.0%以上的年均復合增長率增長，在預期內，電子級六氯乙硅烷市場增速將高于工業級六氯乙硅烷市場增速。
作為電子特氣，電子級六氯乙硅烷行業壁壘較高，全球市場相對集中，其中美國道康寧、德國贏創、法國液化空氣集團等國外企業占據全球市場主要份額。我國電子級六氯乙硅烷市場需求旺盛，但早期大部分需求依賴進口。近年來，隨著國內企業對高純六氯乙硅烷的研究增多，部分企業擁有了自主生產技術，電子級六氯乙硅烷國產替代步伐加快。
我國電子級六氯乙硅烷市場布局企業有洛陽中硅高科技有限公司、內蒙古大全半導體有限公司（40噸電子級六氯乙硅烷建設中）、中巨芯科技有限公司、武漢新硅科技潛江有限公司等，其中洛陽中硅高科技有限公司電子級六氯乙硅烷市場占有率位居第一，制備技術成果達到國際領先水平。
新思界
行業分析人士表示，我國是全球電子產品制造中心，半導體生產能力逐年增長，電子級六氯乙硅烷市場用量將持續增加，行業發展前景廣闊。為配套先進半導體產業發展、提高國產電子級六氯乙硅烷產品質量，近年來，我國推出了一系列行業配套標準，包括《集成電路用六氯乙硅烷》、YS/T 1434-2021《六氯乙硅烷組分含量的測定 氣相色譜法》等。
