激光調(diào)阻機(jī)又稱(chēng)激光修阻機(jī),是利用激光工藝對(duì)薄膜或厚膜電阻進(jìn)行刻蝕,實(shí)現(xiàn)電信號(hào)精密調(diào)節(jié)的設(shè)備。
激光調(diào)阻是一種先進(jìn)的電阻值精校技術(shù),通過(guò)使用激光束照射在片式電阻上,去除部分電阻材料改變其阻值,進(jìn)而來(lái)實(shí)現(xiàn)電阻值的精確控制。調(diào)阻環(huán)節(jié)是金屬合金電阻產(chǎn)能瓶頸的重要環(huán)節(jié)之一,精度在±1%以內(nèi)的金屬合金電阻均需要調(diào)阻。相比于機(jī)械調(diào)阻,激光調(diào)阻的調(diào)阻效率更高,已成為目前金屬合金電阻主流調(diào)阻工藝。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025-2029年激光調(diào)阻機(jī)行業(yè)市場(chǎng)供需現(xiàn)狀及行業(yè)經(jīng)營(yíng)指標(biāo)深度調(diào)查分析報(bào)告》顯示,激光調(diào)阻機(jī)具有調(diào)阻精度高、調(diào)阻速度快、功能強(qiáng)大、可靠性高等特點(diǎn),主要用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié),在MEMS、集成電路、傳感器、通信、醫(yī)學(xué)、軍工科研等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
根據(jù)激光調(diào)阻對(duì)象不同,激光調(diào)阻機(jī)主要分為厚膜激光調(diào)阻機(jī)、薄膜激光調(diào)阻機(jī)、超低阻激光調(diào)阻機(jī)等。厚膜激光調(diào)阻機(jī)的制造精度較低,主要用于調(diào)整基于厚膜制程制造的片式電阻;薄膜激光調(diào)阻機(jī)適用于調(diào)整較為精細(xì)的片式電阻;超低阻激光調(diào)阻機(jī)主要用于調(diào)整極低電阻值的合金片式電阻。
在國(guó)際市場(chǎng)上,激光調(diào)阻機(jī)供應(yīng)商包括美國(guó)GSI、美國(guó)ESI、日本NEC等。我國(guó)激光調(diào)阻機(jī)研制起步較晚,國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)激光調(diào)阻機(jī)樣機(jī)于2002年設(shè)計(jì)出。近十幾年來(lái),國(guó)產(chǎn)激光調(diào)阻機(jī)憑借價(jià)格便宜、方便維護(hù)、易于定制、政策利好等優(yōu)勢(shì),在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的占比穩(wěn)步提升,
目前我國(guó)激光調(diào)阻機(jī)生產(chǎn)企業(yè)包括深圳杰普特光電股份有限公司(杰普特)、長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司(由長(zhǎng)光所機(jī)電工程研究部轉(zhuǎn)制而成)、北京鋒速精密科技有限公司等。
杰普特是第八批國(guó)家級(jí)制造業(yè)單項(xiàng)冠軍企業(yè)之一,單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品為激光修阻機(jī)。杰普特的激光修阻機(jī)可以兼容同類(lèi)型的厚膜電阻、薄膜電阻、超低/高阻值電阻,自2015年以來(lái),其激光修阻機(jī)系列產(chǎn)品陸續(xù)服務(wù)于風(fēng)華高科、國(guó)巨股份、厚聲電子等廠家。
新思界
行業(yè)分析人士表示,激光調(diào)阻機(jī)是生產(chǎn)片式電阻、厚膜電阻不可或缺高技術(shù)設(shè)備,我國(guó)是片式電阻生產(chǎn)大國(guó),激光調(diào)阻機(jī)市場(chǎng)需求空間大。早期激光調(diào)阻機(jī)市場(chǎng)主要由日美企業(yè)占據(jù),后隨著國(guó)內(nèi)技術(shù)突破,國(guó)產(chǎn)激光調(diào)阻機(jī)開(kāi)始搶占進(jìn)口設(shè)備市場(chǎng),目前我國(guó)激光調(diào)阻機(jī)國(guó)產(chǎn)化率已達(dá)到較高水平。