準分子激光器是是一種氣體激光器，通常由增益介質、泵浦源、光學諧振器等組成。準分子激光器以激發二聚體（準分子）作為增益介質，如氟化氬（ArF）、氟化氪（KrF）、二氯化氙（XeCl）等，通過脈沖放電泵浦在紫外區域產生納秒級脈沖。
準分子激光器可以發出準分子激光，準分子激光是一種超紫外線光束，同時也是一種冷光源，具有高單色性、高功率、高穩定性等特點。準分子激光器在半導體光刻、平板顯示制造、醫療器械、工業制造、科學研究等領域應用廣泛。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2029年準分子激光器行業市場供需現狀及行業經營指標深度調查分析報告》顯示，在醫療器械領域，基于準分子激光的穿透力弱、無熱效應等特點，準分子激光器可用于近視屈光、混合散光等眼科疾病治療中。近年來，隨著眼科疾病患者增加、激光視力矯正技術發展，醫用準分子激光器在全球的應用日益廣泛。
準分子激光器誕生于上世紀60年代，經過多年發展積累，商用準分子激光器系列不斷豐富，生產企業包括美國Coherent、Cymer、德國MLase AG、日本Gigaphoton、加拿大LightMachinery、俄羅斯Optosystems等國外企業，以及深圳盛方科技有限公司、中山普宏光電科技有限公司、合肥意克賽激光科技有限公司、北京科益虹源光電技術有限公司等國內企業。
美國Coherent是全球最大的準分子激光器生產商之一，但美國“實體清單”政策限制中國用戶購買其高科技產品，或將限制準分子激光退火等技術向外出口。在此背景下，國產準分子激光器有望成為半導體制造、工業加工、醫療等企業的首選。
近年來，我國企業在準分子激光器領域取得了顯著突破，如盛方科技基于中國科學院四十年的研發經驗和相關技術成果，率先推出了一系列具有自主知識產權的國產高端中小功率準分子激光器，并獲得了市場高度認可。2025年1月，盛方科技宣布完成數千萬元人民幣的A輪融資，融資將用于加強大功率準分子激光器的研發及生產規模擴張。
新思界
行業分析人士表示，隨著制造業轉型升級，準分子激光器在半導體光刻、工業加工、平板顯示制造、醫療等應用需求正快速釋放，市場發展空間廣闊。相比于同等質量的進口產品，國產準分子激光器具有性價比更高、售后服務更快捷等優勢，同時疊加國產替代趨勢，近年來，國產準分子激光器越來越受市場青睞。
