準分子（VUV）光即準分子激光，是由受到電子束激發的惰性氣體和鹵素氣體結合的混合氣體形成的分子向其基態躍遷時發射所產生的激光。準分子照射系統是一種利用準分子光照射材料表面或內部的裝置。
準分子照射系統具有靶向精準、能量高、波長單一、輸出能量集中、可低溫處理等特點，在科學研究、半導體制造、醫療、光子器件制造、材料加工等領域應用廣泛。在醫療領域，準分子照射系統可用于白癜風、銀屑病等皮膚病，及屈光不正、近視、散光等眼科疾病的治療；在材料加工領域，準分子照射系統可用于塑料、樹脂、薄膜、玻璃、板材等材料的表面加工、清潔和改性。
根據發出波長不同，準分子照射系統分為172nm、222nm、308nm及其他準分子照射系統。其中172nm準分子照射系統是市場主流產品，308nm準分子照射系統可誘導T細胞凋亡、促進色素合成，是治療皮膚病的有效工具。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年準分子照射系統行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，預計2024-2029年，全球準分子照射系統市場將以6.0%以上的年均復合增長率增長，在預期內，亞太地區將保持全球最大的準分子照射系統市場。為提高設備性能、實現更廣泛應用，準分子照射系統在技術、材料、光源等方面正進行創新，便攜化、小型化、智能化成為其重要發展趨勢。
準分子照射系統市場參與者不斷增加，包括日本Ushio Inc.公司、濱松電子、日本Gigaphoton公司、荷蘭ASML公司、美國Coherent公司等國外企業，以及北京科益虹源光電技術有限公司、中山普宏光電科技有限公司、深圳盛方科技有限公司、廣東準分子光電科技有限公司等國內企業。
近年來，隨著國內技術突破，我國準分子照射系統實現了迅速發展，本土企業競爭力不斷增強，技術實力、產品性能正逐漸得到國際認可，其中科益虹源已成為全球極少數擁有光刻準分子激光技術全鏈條研發和產業化能力的企業。
新思界
行業分析人士表示，準分子照射系統應用領域廣泛，隨著皮膚病治療需求釋放、材料加工精細化發展，準分子照射系統市場存在較大發展空間。目前我國已經打破國外技術壟斷，實現準分子照射系統自主化生產，為在全球市場占據更多份額，未來我國企業仍需不斷加強技術創新和市場拓展力度。
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