靜電卡盤（ESC），又稱靜電吸盤，指利用靜電吸附力在半導體制造過程中固定和支撐晶圓的裝置。靜電卡盤具備可實現溫度控制、環境適應性強、邊緣效應小、穩定性高、可減少顆粒污染、工作精度高等優勢，在等離子體處理、化學氣相沉積、離子注入以及刻蝕等半導體制造環節應用較多。
靜電卡盤能夠固定和支撐晶圓。近年來，隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國晶圓產能不斷擴張，產量持續增長。受益于下游行業發展速度加快，我國靜電卡盤市場空間有所擴展。根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年靜電卡盤（ESC）行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，2023年我國靜電卡盤市場規模達到近10億元。
按照尺寸不同，靜電卡盤可分為8英寸、12英寸等規格。不同規格晶圓適配不同規格靜電卡盤。2023年我國12英寸晶圓月均產能達到近250萬片，創造歷史新高。未來伴隨我國晶圓行業逐漸往大尺寸方向發展，12英寸靜電卡盤市場占比有望提升。但目前，受技術壁壘高、生產成本高等因素限制，我國12英寸靜電卡盤尚未實現批量化生產，僅有部分企業具備其自主研發實力，這是行業發展面臨的主要挑戰。
按照基材不同，靜電卡盤還可分為聚合物靜電卡盤、陶瓷靜電卡盤、金屬氧化物靜電卡盤等類型。陶瓷靜電卡盤可細分為氮化鋁陶瓷靜電卡盤、氧化鋁陶瓷靜電卡盤等，其采用納米級直徑陶瓷粉末為基材制成，具有體電阻率分布均勻、晶體結構穩定等優勢，為靜電卡盤代表產品。未來伴隨陶瓷靜電卡盤應用需求增長，我國靜電卡盤行業景氣度將進一步提升。
全球靜電卡盤主要生產商包括日本NTK公司、日本新光電氣公司等。在本土方面，我國靜電卡盤主要生產商包括珂瑪科技、華卓精科、海拓創新等。珂瑪科技推出的12英寸靜電卡盤正處于客戶驗證階段，未來有望成為我國首家具備大尺寸靜電卡盤批量生產能力的企業。
新思界
行業分析人士表示，受益于半導體產業發展速度加快，靜電卡盤作為晶圓制成器件，應用需求不斷增長。未來伴隨我國12英寸晶圓產能持續擴張，大尺寸靜電卡盤市場占比有望提升。在市場競爭方面，與海外發達國家相比，我國靜電卡盤行業起步較晚，市場參與者較少。未來隨著本土企業持續發力，我國靜電卡盤行業發展態勢將持續向好。
關鍵字：
